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外延片清洗机
有权

申请号:201520204927.7 申请日:2015-04-03
摘要:本实用新型公开了一种外延片清洗机,包括驱动装置和清洗盒,所述的清洗盒内设有支撑架,所述的支撑架能够在清洗盒内上升和下降,所述的驱动装置驱动支撑架上升和下降,所述的支撑架上端设有若干支撑柱,所述的支撑柱上端面用于支撑外延片,所述的支撑柱上端面为圆弧面,使液体无法停留在支撑柱上端面。本实用新型支撑架在清洗盒内上升和下降,支撑硅片在清洗盒内清洗;支撑柱端面为圆弧面,清洗结束后清洗液无法停留在支撑柱上端面,不会使硅片发生腐蚀。
申请人: 上海晶盟硅材料有限公司
地址: 201707 上海市青浦区北青公路8228号二区48号
发明(设计)人: 吴勇
主分类号: H01L21/67(2006.01)I
分类号: H01L21/67(2006.01)I H01L21/683(2006.01)I
  • 法律状态
2015-08-26  授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  外延片清洗机,包括驱动装置和清洗盒,其特征在于,所述的清洗盒内设有支撑架,所述的支撑架能够在清洗盒内上升和下降,所述的驱动装置驱动支撑架上升和下降,所述的支撑架上端设有若干支撑柱,所述的支撑柱上端面用于支撑外延片,所述的支撑柱上端面为圆弧面,使液体无法停留在支撑柱上端面。
公开号  204596759U
公开日  2015-08-26
专利代理机构  上海脱颖律师事务所 31259
代理人  李强
颁证日  
优先权  
国际申请  
国际公布  
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