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RF MEMS开关硅梁结构
无权-未缴年费

申请号:201520177398.6 申请日:2015-03-27
摘要:RF?MEMS开关硅梁结构,包括上电极、锚点,其特征在于:所述上电极和锚点采用对角Z形梁连接。本实用新型通过选取合理结构的硅梁结构,有效降低其谐振频率和阈值电压,开关响应时间短、易集成。
申请人: 苏州锟恩电子科技有限公司
地址: 215153 江苏省苏州市高新区通安镇华金路255-7
发明(设计)人: 杨俊民
主分类号: H01H59/00(2006.01)I
分类号: H01H59/00(2006.01)I
  • 法律状态
2017-05-17  未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01H 59/00申请日:20150327授权公告日:20150826终止日期:20160327
2015-08-26  授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  ?RF?MEMS开关硅梁结构,包括上电极、锚点,其特征在于:所述上电极和锚点采用对角Z形梁连接。
公开号  204596724U
公开日  2015-08-26
专利代理机构  南京纵横知识产权代理有限公司 32224
代理人  董建林
颁证日  
优先权  
国际申请  
国际公布  
进入国家日期