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检测发光器件混色缺陷的装置
有权

申请号:201520154803.2 申请日:2015-03-18
摘要:本实用新型提供的检测发光器件混色缺陷的装置,涉及半导体器件制造领域,通过增设光源及与其匹配的滤镜,即可在对诸如OLED等发光器件的混色缺陷检测工艺中,利用该光源及滤镜对发光区以外的区域所产生的干扰光线进行互补,以消除该干扰光线,进而使得采集的图像中,将发光区图像与其他区域图像予以区分,进而消除混色等缺陷,在增强后续对发光范围的分析判定精准度的同时,还大大提高了检测工艺的工作效率。
申请人: 上海和辉光电有限公司
地址: 201506 上海市金山区金山工业区大道100号1幢二楼208室
发明(设计)人: 颜圣佑 许嘉哲 吴思宗
主分类号: H01L21/66(2006.01)I
分类号: H01L21/66(2006.01)I
  • 法律状态
2015-08-26  授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  一种检测发光器件混色的装置,其特征在于,发光器件设置有发光区和背材区,所述装置包括:机台,所述发光器件固定设置在所述机台上;激励光源,设置于所述机台的上方,照射所述发光器件,以激励该发光器件发光;有色光源,设置于所述机台的上方,照射所述发光器件,以滤除所述背材区产生的干扰光线;以及数字图形获取装置,设置于所述发光器件的上方,以获取并分析所述发光器件发光时的数字图形。
公开号  204596753U
公开日  2015-08-26
专利代理机构  上海申新律师事务所 31272
代理人  吴俊
颁证日  
优先权  
国际申请  
国际公布  
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