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冷阱及冷阱的控制方法
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申请号:201510939175.3 申请日:2015-12-15
摘要:本发明提供一种能够适当地冷却冷板的冷阱及冷阱的控制方法。冷阱(14)具备:冷板;制冷机(24),冷却冷板;冷却台温度控制部(110),确定对制冷机(24)的控制输入,以使制冷机(24)的制冷机冷却台冷却至目标温度;热输入推断部(112),从通过冷却台温度控制部(110)确定的对制冷机(24)的控制输入推断出向冷板的热输入增加;以及目标温度调整部(114),根据通过热输入推断部(112)推断出的热输入増加来调整目标温度。
申请人: 住友重机械工业株式会社
地址: 日本东京都
发明(设计)人: 谷津贵裕
主分类号: B01D8/00(2006.01)I
分类号: B01D8/00(2006.01)I
  • 法律状态
2018-03-06  授权
2016-07-27  实质审查的生效IPC(主分类):B01D 8/00申请日:20151215
2016-06-29  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  一种冷阱,其用于对具有主真空泵的真空容器进行排气,该冷阱的特征在于,具备:冷板,配置于将所述真空容器连接于所述主真空泵的排气导管内部,或者配置于所述真空容器内部;单级制冷机,具备结构上与所述冷板连接从而与所述冷板热连接的制冷机冷却台;冷却台温度控制部,确定对所述单级制冷机的控制输入,以使所述制冷机冷却台冷却至目标温度;热输入推断部,从通过所述冷却台温度控制部确定的对所述单级制冷机的控制输入推断出向所述冷板的热输入增加;以及目标温度调整部,根据所述热输入推断部所推断出的热输入増加,降低所述目标温度。
公开号  105709452A
公开日  2016-06-29
专利代理机构  广州三环专利代理有限公司 44202
代理人  温旭 郝传鑫
颁证日  
优先权  2014.12.17 JP 2014-255029
国际申请  
国际公布  
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