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稀释剂组合物
审中-实审

申请号:201510924658.6 申请日:2015-12-14
摘要:本发明提供一种稀释剂组合物。本发明中的稀释剂特别是对用于旋涂硬掩膜的难溶性光刻胶具有优异的溶解特性和适当的挥发性,可在短时间内有效去除在边缘光刻胶去除工序等中粘附的多余的光刻胶,并且还可以应用于半导体基板的预湿工艺等,使得以少量光刻胶或者旋涂硬掩膜也能有效形成感光膜。
申请人: 东进世美肯株式会社
地址: 韩国仁川市西区
发明(设计)人: 权五焕 赵泰杓 金炳郁 郑宗铉 尹锡壹 韩莹圭 沈载熙
主分类号: G03F7/42(2006.01)I
分类号: G03F7/42(2006.01)I
  • 法律状态
2018-01-09  实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/42申请日:20151214
2016-06-29  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  一种稀释剂组合物,其包含:1?甲氧基?2?丙醇酯;3?甲氧基丙酸甲酯;γ?丁内酯;环戊酮;以及,2?甲氧基?1?乙酸丙酯、丙二醇单甲醚及丁基羟基甲苯中的一种以上成分。
公开号  105717755A
公开日  2016-06-29
专利代理机构  北京冠和权律师事务所 11399
代理人  朱健 陈国军
颁证日  
优先权  2014.12.18 KR 10-2014-0183528
国际申请  
国际公布  
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