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一种极紫外光源性能参数的测量系统
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申请号:201510772679.0 申请日:2015-11-12
摘要:本发明公开了一种极紫外光源性能参数测量系统,其包括:EUV光源腔室、反射镜腔室、测量腔室,其中设置有旋转调节装置;所述旋转调节装置包括:旋转圆盘、至少一个前置部件装载结构、至少一个测量仪器探测部件以及旋转转盘的支撑调节结构;所述旋转圆盘开有至少一个通光孔,所述至少一个测量仪器探测部件安装在所述至少一个通光孔后方;所述旋转转盘的支撑调节结构包括:第一调节杆,将所述旋转圆盘悬空连接到所述测量腔室后壁的接口法兰上;第二调节杆,其穿过所述第一调节杆内部及所述旋转圆盘中心孔,以旋钮方式固定在支撑板上;支撑板,其固定于所述测量腔室底部腔壁上。
申请人: 中国科学院光电研究院
地址: 100094 北京市海淀区邓庄南路9号
发明(设计)人: 谢婉露 吴晓斌 陈进新 王魁波 罗艳 张罗莎 王宇 崔惠绒
主分类号: G01M11/02(2006.01)I
分类号: G01M11/02(2006.01)I G01B11/00(2006.01)I G01J1/00(2006.01)I G01J11/00(2006.01)I
  • 法律状态
2018-01-02  授权
2016-02-17  实质审查的生效IPC(主分类):G01M 11/02申请日:20151112
2016-01-20  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  一种极紫外光源性能参数测量系统,其包括:EUV光源腔室,其中设置有光辐照源,用于辐射光;反射镜腔室,其中设置有反射镜,通过与滤光片的共同作用,从所述光滤出EUV光送入测量腔室;测量腔室,其中设置有旋转调节装置;其中,所述旋转调节装置包括:旋转圆盘、至少一个前置部件装载结构、至少一个测量仪器探测部件以及旋转转盘的支撑调节结构;所述旋转圆盘开有至少一个通光孔,所述至少一个前置部件装载结构固定于所述至少一个通光孔内;所述至少一个测量仪器探测部件安装在所述至少一个通光孔后方;所述旋转转盘的支撑调节结构包括:第一调节杆,其为中空结构,一端固定于所述旋转圆盘,并将所述旋转圆盘悬空连接到所述测量腔室后壁的接口法兰上;第二调节杆,其穿过所述第一调节杆内部及所述旋转圆盘中心孔,以旋钮方式固定在支撑板上;支撑板,其固定于所述测量腔室底部腔壁上;其中所述第一调节杆可旋转地带动所述旋转圆盘在光轴垂直面内旋转;所述第二调节杆可旋转地带动所述旋转圆盘沿光轴方向前后移动。
公开号  105258925A
公开日  2016-01-20
专利代理机构  中科专利商标代理有限责任公司 11021
代理人  宋焰琴
颁证日  
优先权  
国际申请  
国际公布  
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