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掺铝钛氧化锌靶材的制备方法
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申请号:201510764421.6 申请日:2015-11-11
摘要:本发明属于透明导电膜的制备领域,具体涉及掺铝钛氧化锌靶材及其制备方法。本发明要解决的技术问题是现有工艺制备的坯体易开裂,大尺寸平板坯体收缩过程易卷曲,常用单体具有毒性,等。本发明解决上述技术问题的方案是提供一种掺铝钛氧化锌靶材的制备方法,包括以下步骤:a、将氧化铝、二氧化钛和氧化锌均匀分散到水中,混合球磨得到浆料;b、将MAM和PEGDMA分散到浆料中;c、向上述浆料中再加入催化剂和引发剂,然后用无水乙醇除泡;d、将除泡的浆料注入无孔模具,干燥得到掺铝钛氧化锌靶材坯体;e、将掺铝钛氧化锌靶材坯体烧结得到掺铝钛氧化锌靶材。本发明提供的方法简单易行,能制备出复杂形状的部件,其致密度高、电阻率低、抗弯强度高。
申请人: 攀枝花学院
地址: 617000 四川省攀枝花市东区机场路10号
发明(设计)人: 马兰 王丽 邹梦 王鑫林 汪丛珍 刘小敏 唐开梅 蔡丹 蒋璧如 杜燕 江钰
主分类号: C04B35/453(2006.01)I
分类号: C04B35/453(2006.01)I C04B35/622(2006.01)I
  • 法律状态
2017-12-12  授权
2016-02-24  实质审查的生效IPC(主分类):C04B 35/453申请日:20151111
2016-01-27  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  掺铝钛氧化锌靶材的制备方法,包括以下步骤:a、将氧化铝、二氧化钛和氧化锌均匀分散到水中,混合球磨2~6h,得到浆料;所述浆料的固相体积分数为45~75%;所述浆料的pH值控制在6.0~10;b、将甲基丙烯酰胺和聚乙二醇二甲基丙烯酸分散到浆料中,并搅拌或球磨1~3h;c、向b步骤得到的浆料中再加入催化剂和引发剂,并搅拌0.25~1h;然后用无水乙醇除泡;d、将除泡的浆料注入无孔模具,干燥直至能够脱模,得到掺铝钛氧化锌靶材坯体;e、将掺铝钛氧化锌靶材坯体从室温加热到1300℃~1400℃烧结1240~2410min,随炉冷却,得到掺铝钛氧化锌靶材。
公开号  105272209A
公开日  2016-01-27
专利代理机构  成都虹桥专利事务所(普通合伙) 51124
代理人  高芸 梁鑫
颁证日  
优先权  
国际申请  
国际公布  
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