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微波内匹配功率晶体管匹配电容及其制作方法
审中-实审

申请号:201510747914.9 申请日:2015-11-06
摘要:本发明公开了一种微波内匹配功率晶体管匹配电容及其制作方法,涉及电容及其制作方法技术领域。所述电容包括完成了内匹配电容正面工艺的MIM上电容组件,MIM上电容组件包括衬底,所述衬底的上表面设有金属下电极,所述衬底上设有引出通孔,所述衬底的下表面设有金属下电极引出电极,所述金属下电极引出电极的一部分穿过所述引出通孔与所述金属下电极电连接。所述电容具有耐高温,频率性能好,体积小,制作工艺简单,成本低的特点。
申请人: 中国电子科技集团公司第十三研究所
地址: 050051 河北省石家庄市合作路113号
发明(设计)人: 潘宏菽 马杰 宋建博 张力江 付兴中 李保第 崔玉兴 付兴昌
主分类号: H01L29/94(2006.01)I
分类号: H01L29/94(2006.01)I H01L23/49(2006.01)I H01L29/66(2006.01)I H01L21/48(2006.01)I
  • 法律状态
2016-02-24  实质审查的生效IPC(主分类):H01L 29/94申请日:20151106
2016-01-27  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  一种微波内匹配功率晶体管匹配电容,其特征在于:包括完成了内匹配电容正面工艺的MIM上电容组件,MIM上电容组件包括衬底(1),所述衬底(1)的上表面设有金属下电极(2),所述衬底(1)上设有引出通孔(7),所述衬底(1)的下表面设有金属下电极引出电极(10),所述金属下电极引出电极(10)的一部分穿过所述引出通孔(7)与所述金属下电极(2)电连接。
公开号  105280727A
公开日  2016-01-27
专利代理机构  石家庄国为知识产权事务所 13120
代理人  李荣文
颁证日  
优先权  
国际申请  
国际公布  
进入国家日期