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湿法刻蚀用HF槽的排液系统
审中-实审

申请号:201510712433.4 申请日:2015-10-28
摘要:本发明公开了一种湿法刻蚀用HF槽的排液系统,包括与HF槽相连的排液管和用于控制所述排液管开闭的气动阀,该排液系统还包括设置在所述排液管上,且位于所述HF槽与所述气动阀之间的过滤装置。在系统维护时,HF槽中的药液将首先通过过滤装置,然后才能经过气动阀被排出。过滤装置可以将药液中的细微碎渣过滤,从而有效避免碎渣进入到气动阀内而对气动阀的性能造成影响,因而该排液系统也就保证了气动阀工作的可靠性。
申请人: 英利集团有限公司
地址: 071051 河北省保定市朝阳北大街3399号
发明(设计)人: 马康
主分类号: C30B29/06(2006.01)I
分类号: C30B29/06(2006.01)I C30B28/06(2006.01)I
  • 法律状态
2016-02-24  实质审查的生效IPC(主分类):C30B 29/06申请日:20151028
2016-01-27  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  一种湿法刻蚀用HF槽的排液系统,包括与HF槽(1)相连的排液管(2)和用于控制所述排液管(2)开闭的气动阀(4),其特征在于,还包括设置在所述排液管(2)上,且位于所述HF槽(1)与所述气动阀(4)之间的过滤装置。
公开号  105274620A
公开日  2016-01-27
专利代理机构  北京集佳知识产权代理有限公司 11227
代理人  李海建
颁证日  
优先权  
国际申请  
国际公布  
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