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减少IGBT功率模块封装中GE短路的在线气相清洁装置及方法
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申请号:201510673315.7 申请日:2015-10-16
摘要:本发明提供一种减少IGBT功率模块封装中GE短路的在线气相清洁装置及方法,所述装置包括:清洁腔体,清洁腔体设于键合点胶的上料轨道上,上料轨道用于传送芯片,清洁腔体内设置有吹气管道以及吸气管道,吹气管道的出风口设于芯片的至少其中一侧的斜上方,吸气管道的进风口对应地设于芯片的相对侧的斜上方。本发明所提供的装置及方法能够在引线键合之后,键合点胶之前,进行针对芯片表面残留焊球及铝屑的清洁,从而防止金属残留物被键合胶固定在门极总线位置导致芯片GE失效的情况,减少GE短路的概率。
申请人: 株洲南车时代电气股份有限公司
地址: 412001 湖南省株洲市石峰区时代路169号
发明(设计)人: 冯会雨 徐凝华 曾雄 贺新强 李寒 程崛 李亮星 严璠 周铮 韩星尧
主分类号: H01L21/67(2006.01)I
分类号: H01L21/67(2006.01)I
  • 法律状态
2017-12-26  授权
2016-02-24  实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/67申请日:20151016
2016-01-27  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  一种减少IGBT功率模块封装中GE短路的在线气相清洁装置,其特征在于,包括:清洁腔体,所述清洁腔体设于键合点胶的上料轨道上,所述上料轨道用于传送芯片,其中,所述清洁腔体内设置有吹气管道以及吸气管道,所述吹气管道的出风口设于芯片的至少其中一侧的斜上方,所述吸气管道的进风口对应地设于芯片的相对侧的斜上方。
公开号  105280531A
公开日  2016-01-27
专利代理机构  北京聿宏知识产权代理有限公司 11372
代理人  张少辉 刘华联
颁证日  
优先权  
国际申请  
国际公布  
进入国家日期