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抽取清洗残余废气的气嘴结构
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申请号:201510628671.7 申请日:2015-09-28
摘要:一种抽取清洗残余废气的气嘴结构,包括:一外抽气罩,该外抽气罩为圆管形结构,一端为一喇叭形,该外抽气罩的侧壁上开有多个小孔;一内吹气罩,位于外抽气罩内,该内吹气罩为圆柱形,在圆柱形的侧壁相对两侧斜向形成一平面,使其一端形成一矩形平面,在内吹气罩的另一端开有圆孔,该圆孔按照两侧斜向的角度收缩成一矩形开口;其中该外抽气罩和内吹气罩同轴设置,该内吹气罩的矩形开口向外吹气,该气体与外抽气罩的多个小孔形成气体回路。本发明具有结构简单,使用方便的优点,尤其在狭小的空间进行清洗时,侧边抽气结构能够将粉尘最大效率的抽取干净。
申请人: 中国科学院半导体研究所
地址: 100083 北京市海淀区清华东********(隐藏)
发明(设计)人: 张志研 林学春 王奕博 于海娟 刘燕楠 梁浩 高文焱 林康
主分类号: B08B7/00(2006.01)I
分类号: B08B7/00(2006.01)I B08B15/04(2006.01)I B21B45/06(2006.01)I
  • 法律状态
2017-06-20  授权
2016-02-03  实质审查的生效IPC(主分类):B08B 7/00申请日:20150928
2016-01-06  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  一种抽取清洗残余废气的气嘴结构,包括:一外抽气罩,该外抽气罩为圆管形结构,一端为一喇叭形,该外抽气罩的侧壁上开有多个小孔;一内吹气罩,位于外抽气罩内,该内吹气罩为圆柱形,在圆柱形的侧壁相对两侧斜向形成一平面,使其一端形成一矩形平面,在内吹气罩的另一端开有圆孔,该圆孔按照两侧斜向的角度收缩成一矩形开口;其中该外抽气罩和内吹气罩同轴设置,该内吹气罩的矩形开口向外吹气,该气体与外抽气罩的多个小孔形成气体回路。
公开号  105215008A
公开日  2016-01-06
专利代理机构  中科专利商标代理有限责任公司 11021
代理人  任岩
颁证日  
优先权  
国际申请  
国际公布  
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