搜索 分析 新世界 法规 图书 网址导航 更多
高级用户登录 | 登录 | |

一种MEMS电热致动器及其制造工艺
有权
阅读授权文献

申请号:201510598708.6 申请日:2015-09-18
摘要:本发明涉及一种MEMS电热致动器及其制造工艺,解决了独立加工的问题,实现了工作电压小、变形大、功耗小和反应快。电热致动器为悬臂梁,梁(2)包括上层(7)、中层(5)、下层(3)、粘合层(4)和绝缘层(6),上层材料和下层材料的热膨胀系数不同,中层(5)为加热层,粘合层(4)位于中层(5)与下层(3)之间,绝缘层(6)将中层(5)的上表面覆盖,在绝缘层(6)上嵌入有两个电极,两个电极分别与加热层的“U”形上部两端侧面接触,且两个电极与上层(7)为一体,梁固定端的下层底部为基底层。
申请人: 北京理工大学
地址: 100081 北京市海淀区中关村南大街5号北京理工大学
发明(设计)人: 宋荣昌 关平 陈庆森 申跃跃 吕永佳
主分类号: B81B3/00(2006.01)I
分类号: B81B3/00(2006.01)I B81C1/00(2006.01)I
  • 法律状态
2017-06-16  授权
2016-03-30  实质审查的生效IPC(主分类):B81B 3/00申请日:20150918
2016-01-27  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  一种MEMS电热致动器,其特征是:该电热致动器为悬臂梁,所述悬臂梁由焊盘(1)和梁(2)构成,梁(2)有固定端和悬臂端,焊盘(1)位于梁固定端的两侧;梁(2)为层次结构,梁(2)包括上层(7)、中层(5)、下层(3)、粘合层(4)和绝缘层(6),上层材料和下层材料的热膨胀系数不同,中层(5)为加热层,粘合层(4)位于中层(5)与下层(3)之间,在梁(2)的纵截面内中层(5)和粘合层(4)的形状均为“U”形,绝缘层(6)位于中层(5)与下层(3)之间,且绝缘层(6)将中层(5)的上表面覆盖,在绝缘层(6)上嵌入有两个电极,两个电极分别与加热层的“U”形上部两端侧面接触,且两个电极与上层(7)为一体,梁固定端的下层底部为基底层。
公开号  105271099A
公开日  2016-01-27
专利代理机构  
代理人  
颁证日  
优先权  
国际申请  
国际公布  
进入国家日期