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三次连续沉积升温扩散工艺
审中-实审

申请号:201510597029.7 申请日:2015-09-17
摘要:本发明公开了三次连续沉积升温扩散工艺,属于光伏技术领域。将清洗制绒好的硅片放入扩散炉,通入氮气、氧气和三氯氧磷,在高温下进行扩散;扩散分三次沉积,每次沉积的温度逐步升高,可降低表面杂质浓度,减少“死层”,提升光电转换效率。按照电池片的正常工艺完成刻蚀、PECVD、丝网烧结等工艺后,电池片的光电转换效率提升约0.2%。
申请人: 江西展宇新能源股份有限公司
地址: 334100 江西省上饶市经济开发区金光大道8号
发明(设计)人: 曹江伟 张明明 谢代鹏 张宇
主分类号: H01L31/18(2006.01)I
分类号: H01L31/18(2006.01)I
  • 法律状态
2016-02-24  实质审查的生效IPC(主分类):H01L 31/18申请日:20150917
2016-01-27  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  三次连续沉积升温扩散工艺,其特征为,体步骤为:(1)开始:时间为5~20?s,温度设置为770~790?℃,大氮流量为4~15?L/min,小氮和氧气的流量均为0?L/min;(2)进舟:时间为500~900?s,温度设置为770~790?℃,大氮流量为4~15?L/min,小氮和氧气的流量为0?L/min,进舟速度为300~600?mm/min;(3)升温:时间为300~800?s,温度设置为770~790?℃,大氮流量为10~25?L/min,小氮和氧气的流量均为0?L/min;(4)前氧化:时间为200~700?s,温度设置为770~790?℃,大氮流量为10~25?L/min,小氮流量为0?L/min,氧气流量为1~5?L/min;(5)第一次沉积:时间为600~1200?s,温度设置为785~805?℃,大氮流量为10~25?L/min,小氮流量为0.9~2.2?L/min,氧气流量为0.3~2.2?L/min;(6)第二次沉积:时间为400~700?s,温度设置为805~825?℃,大氮流量为10~25?L/min,小氮流量为0.9~2.2?L/min,氧气流量为0.3~2.2?L/min;(7)第三次沉积:时间为200~600?s,温度设置为825~845?℃,大氮流量为10~25?L/min,小氮流量为0.9~2.2?L/min,氧气流量为0.3~2.2?L/min;(8)推进:时间为200~700?s,温度设置为845~865?℃,大氮流量为10~25?L/min,小氮流量为0?L/min,氧气流量为0~2?L/min;(9)后氧化及降温:时间为300~2000?s,温度设置为700~800?℃,大氮流量为10~25?L/min,小氮流量为0?L/min,氧气流量为1~5?L/min;(10)出舟:时间为700~1200?s,温度设置为700~800?℃,大氮流量为4~15?L/min,小氮和氧气的流量为0?L/min,出舟速度为200~400?mm/min;(11)结束:时间为5~20?s,温度设置为750~800?℃,大氮流量为4~15?L/min,小氮和氧气的流量均为0?L/min。
公开号  105280755A
公开日  2016-01-27
专利代理机构  江西省专利事务所 36100
代理人  杨志宇
颁证日  
优先权  
国际申请  
国际公布  
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