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TEM样品安放布局
审中-实审

申请号:201510551041.4 申请日:2015-07-20
摘要:提供一种用于透射电子显微术的系统及方法。能够在透射电子显微镜中使用电子束从多个方向上检查样品。样品具有至少三个相互不平行的观察面,其中正交于每个观察面的样品厚度小于200nm。样品安放在针上,针可以围绕多于一个的轴旋转,因此所述针能够使至少三个观察面定向为垂直于用于观察的电子显微镜的电子束。
申请人: FEI公司
地址: 美国俄勒冈州
发明(设计)人: D·富尔德
主分类号: G01N23/04(2006.01)I
分类号: G01N23/04(2006.01)I G01N1/28(2006.01)I
  • 法律状态
2017-07-28  实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 23/04申请日:20150720
2016-01-27  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  一种用于在带电粒子束设备中获取样品的正交图像的方法,包括:将具有多个正交面的样品连接到可旋转样品支撑装置;把可旋转样品支撑装置旋转到多个角度,使得对于所述多个角度中的每一个,样品的多个正交面中的不同面被暴露于并且垂直于由带电粒子束设备所生成的电子束;在所述多个角度的每个角度,对来自所述电子束的透射穿过所述样品的电子进行探测;以及,根据所探测的在所述多个角度的每个角度透射穿过所述样品的电子生成所述样品的多个图像。
公开号  105277576A
公开日  2016-01-27
专利代理机构  中国专利代理(香港)有限公司 72001
代理人  申屠伟进 陈岚
颁证日  
优先权  2014.07.21 US 62/027035
国际申请  
国际公布  
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