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使用振膜中嵌入的Ti-W引线吸气剂的CMOS压力传感器
审中-实审

申请号:201510404305.3 申请日:2015-07-10
摘要:多种实施例涉及一种压力传感器,包括:压力敏感振膜,悬置在腔体上,其中通过一组锚结构将所述振膜固定到衬底;以及吸气剂材料,嵌入在所述振膜中,其中所述吸气剂表面接触腔体内的任何气体,并且通过能够将通过吸气剂材料的电流传导通过衬底的锚结构来将吸气剂材料的两端点附着到所述衬底。
申请人: ams国际有限公司
地址: 瑞士拉珀斯维尔镇
发明(设计)人: 威廉·弗雷德里克·亚德里亚内斯·贝什林 马特吉·戈森斯 皮特·杰勒德·斯蒂内肯 雷默克·亨里克斯·威廉默斯·皮内伯格 马藤·奥尔德森 卡斯珀·范德阿奥斯特
主分类号: G01L9/06(2006.01)I
分类号: G01L9/06(2006.01)I G01L1/18(2006.01)I
  • 法律状态
2016-02-24  实质审查的生效IPC(主分类):G01L 9/06申请日:20150710
2016-01-27  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  一种压力传感器,包括:压力敏感振膜,悬置在腔体上,其中通过一组锚结构将所述振膜固定到衬底;以及吸气剂材料,嵌入在所述振膜中,其中所述吸气剂的表面接触腔体内的任何气体,并且通过能够将通过吸气剂材料的电流传导通过衬底的锚结构来将吸气剂材料的两端点附着到所述衬底。
公开号  105277309A
公开日  2016-01-27
专利代理机构  中科专利商标代理有限责任公司 11021
代理人  王波波
颁证日  
优先权  2014.07.25 US 14/340,765
国际申请  
国际公布  
进入国家日期