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能够控制气体压力和气体消耗量的气体激光振荡器
有权
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申请号:201510378268.3 申请日:2015-07-01
摘要:本发明涉及一种能够控制气体压力和气体消耗量的气体激光振荡器。该气体激光振荡器具备:第一控制阀,其能够控制提供给气体容器的激光气体的量;第二控制阀,其能够控制从气体容器排出的激光气体的量;控制装置,其分别控制第一控制阀和第二控制阀的开度。控制装置具备:存储部,其存储表示气体容器内的激光气体的压力、第二控制阀的开度以及激光气体的排出量的关系性的数据;气体压力控制部,其分别控制第一控制阀和第二控制阀的开度,使得气体容器内的激光气体的压力接近基准气体压力;气体消耗量控制部,其分别控制第一控制阀和第二控制阀的开度,使得激光气体的排出量接近目标消耗量。
申请人: 发那科株式会社
地址: 日本山梨县
发明(设计)人: 松田宗和 吉田宏之
主分类号: H01S3/036(2006.01)I
分类号: H01S3/036(2006.01)I
  • 法律状态
2016-11-16  授权
2016-03-30  实质审查的生效IPC(主分类):H01S 3/036申请日:20150701
2016-01-27  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  一种气体激光振荡器,其特征在于,具备:气体容器,其收容激光气体;第一传感器,其检测上述气体容器内的激光气体的压力;气体供给源,其对上述气体容器提供激光气体;真空泵,其从上述气体容器排出激光气体;第一控制阀,其能够通过调节开度来控制提供给上述气体容器的激光气体的量;第二控制阀,其能够通过调节开度来控制从上述气体容器排出的激光气体的量;以及控制装置,其分别控制上述第一控制阀和上述第二控制阀的开度,其中,上述控制装置具备:第一存储部,其存储表示上述气体容器内的激光气体的压力、上述第二控制阀的开度以及激光气体的排出量的关系性的数据;气体压力控制部,其分别控制上述第一控制阀和上述第二控制阀的开度,使得上述气体容器内的激光气体的压力接近基准气体压力;气体消耗量控制部,其分别控制上述第一控制阀和上述第二控制阀的开度,使得激光气体的排出量接近目标消耗量。
公开号  105281184A
公开日  2016-01-27
专利代理机构  北京银龙知识产权代理有限公司 11243
代理人  曾贤伟 郝庆芬
颁证日  
优先权  2014.07.14 JP 2014-144501
国际申请  
国际公布  
进入国家日期