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切断装置及切断方法
审中-实审

申请号:201510378174.6 申请日:2015-07-01
摘要:本发明提供一种切断装置及切断方法。在切断装置中,容易去除蓄积在吸附夹具的切断槽中的残留物。在切断装置中,设置将吸附夹具固定在金属工作台上的切断用工作台。在吸附夹具上分别设置与封装基板的第一切断线和第二切断线的位置对应的第一切断槽和第二切断槽。在切断用工作台上未放置有封装基板的状态下,使旋转刃的下端下降到第一切断槽和第二切断槽的内部。供给切削水的同时使旋转的旋转刃沿第一切断槽和第二切断槽相对地移动,由此扫出蓄积在第一切断槽和第二切断槽内的残留物,并通过旋转刃和切削水排出残留物。在现有的切断装置中,能够容易去除蓄积在第一切断槽和第二切断槽内的残留物。
申请人: 东和株式会社
地址: 日本京都市
发明(设计)人: 傅藤胜则 石桥干司
主分类号: H01L21/78(2006.01)I
分类号: H01L21/78(2006.01)I H01L21/67(2006.01)I
  • 法律状态
2016-02-24  实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/78申请日:20150701
2016-01-27  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  一种切断装置,具备:工作台,供放置被切断物,所述被切断物具有由多个切断线包围的多个区域;切断单元,用于切断所述被切断物;移动机构,用于使所述工作台和所述切断单元相对地移动;以及切削水供给机构,用于向所述切断单元与所述被切断物相接触的被加工点供给切削水,所述切断装置在通过对所述被切断物进行单片化来制造与各个所述区域对应的产品时被使用,所述切断装置的特征在于,具备:底座,被设置在所述工作台上;吸附夹具,被固定在所述底座上;以及多个切断槽,被设置在所述吸附夹具上,并在所述吸附夹具上放置有所述被切断物的状态下与所述多个切断线的位置对应,在所述吸附夹具上未放置有所述被切断物的状态下,所述切断单元的至少一部分进入到所述切断槽的内部,从所述切削水供给机构向所述切断单元供给所述切削水,并且所述工作台和所述切断单元沿所述切断槽相对地移动,由此去除所述切断槽的内部中的残留物。
公开号  105280554A
公开日  2016-01-27
专利代理机构  北京德琦知识产权代理有限公司 11018
代理人  齐葵 周艳玲
颁证日  
优先权  2014.07.18 JP 2014-147251
国际申请  
国际公布  
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