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多晶硅锭的制备方法、多晶硅锭及多晶硅片
审中-实审

申请号:201510333623.5 申请日:2015-06-16
摘要:本发明涉及一种多晶硅锭的制备方法,包括以下步骤:在坩埚底部铺设熔点、密度大于硅且不与硅液及坩埚发生反应的形核源,形成形核源层;在形核源层上方设置熔融状态的硅料;控制所述坩埚内的温度沿垂直于所述坩埚底部向上的方向逐渐上升,使得所述熔融状态的硅料在所述形核源上方形核结晶,生成晶体硅锭。由于形核源的熔点和密度均高于熔融硅,且不与硅液和坩埚发生反应,在铸锭形核后依然保持形核源本身的特性,因此可以重复利用。此外,还出一种由上述方法制备的多晶硅锭,及由该多晶硅锭为原料进行开方-切片-清洗后制得的多晶硅片。
申请人: 江苏协鑫硅材料科技发展有限公司
地址: 221004 江苏省徐州市经济开发区杨山路88号
发明(设计)人: 游达 黄春来 周声浪 贾晨晨
主分类号: C30B28/06(2006.01)I
分类号: C30B28/06(2006.01)I C30B29/06(2006.01)I
  • 法律状态
2015-09-23  实质审查的生效IPC(主分类):C30B 28/06申请日:20150616
2015-08-26  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  一种多晶硅锭的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:在坩埚底部铺设熔点、密度大于硅且不与硅液及坩埚发生反应的形核源,形成形核源层;在形核源层上方设置熔融状态的硅料;控制所述坩埚内的温度沿垂直于所述坩埚底部向上的方向逐渐上升,使得所述熔融状态的硅料在所述形核源上方形核结晶,生成晶体硅锭。
公开号  104862778A
公开日  2015-08-26
专利代理机构  广州华进联合专利商标代理有限公司 44224
代理人  唐清凯
颁证日  
优先权  
国际申请  
国际公布  
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