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一种抗摩擦磨损性能优异的MoS2-Ti复合膜及其制备方法
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申请号:201510331855.7 申请日:2015-06-16
摘要:本发明属于金属材料表面润滑改性用固体润滑涂层技术领域,具体涉及一种抗摩擦磨损性能优异的MoS2-Ti复合膜及其制备方法,即一种能够显著提高复合膜在大气环境中抗摩擦磨损性能的MoS2-TiL/MoS2-TiH纳米叠层复合膜。本发明所述的MoS2-TiL/MoS2-TiH纳米叠层复合膜含Ti量低的MoS2-TiL薄膜及含Ti量高的MoS2-TiH薄膜的交替沉积构成的,不仅可以阻止薄膜呈柱状生长,而且还可以使MoS2-TiL与MoS2-TiH相互混合,能够抑制柱状晶的生长、分散膜层应力、抑制膜层大块脱落、提高致密度,从而可以改善复合膜的抗摩擦磨损性能。
申请人: 张平 台州学院
地址: 318000 浙江省台州市椒江区市府大道1139号
发明(设计)人: 张平 付亚波 陈基根 吴建波 赵先锐 戴晟 张梦贤 方一航
主分类号: C23C14/06(2006.01)I
分类号: C23C14/06(2006.01)I C23C14/35(2006.01)I B32B9/04(2006.01)I B82Y30/00(2011.01)I B82Y40/00(2011.01)I
  • 法律状态
2017-09-22  授权
2015-10-14  实质审查的生效IPC(主分类):C23C 14/06申请日:20150616
2015-08-26  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  一种抗摩擦磨损性能优异的MoS2?Ti复合膜,所述的MoS2?Ti复合膜是采用如下方法制备的:首先对基体依次放在丙酮、酒精中进行超声波清洗;然后,采用磁控溅射技术,以氩气作为工作气体,预先在基体上沉积过渡层;接着,通过共溅射Ti靶、MoS2靶,改变Ti靶功率,实现含Ti量低的MoS2?TiL薄膜及含Ti量高的MoS2?TiH薄膜(即MoS2?TiL/MoS2?TiH)的交替沉积,调节工作压强、沉积温度以及总沉积时间等参数,在基体上制备出抗摩擦磨损性能优异的MoS2?TiL/MoS2?TiH纳米叠层复合膜。
公开号  104862648A
公开日  2015-08-26
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