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粘接头和具有该粘结头的裸片粘接设备
审中-实审

申请号:201510316951.4 申请日:2015-06-10
摘要:本发明公开了一种粘接头和一种具有该粘接头的裸片粘接设备。所述粘接头包括主体、板加热器、夹头和冷却管,所述主体连接至用于传递所述裸片的驱动部段,所述板加热器安装至所述主体的下表面,所述夹头安装至所述板加热器的下表面并构造成利用真空压力来保持所述裸片,所述冷却管设置穿过所述主体并且冷却流体循环穿过冷却管以冷却所述板加热器。
申请人: 细美事有限公司
地址: 韩国忠淸南道天安市西北區区稷山邑四产团五
发明(设计)人: 李恒林
主分类号: H01L21/67(2006.01)I
分类号: H01L21/67(2006.01)I H01L21/677(2006.01)I B65G49/07(2006.01)I
  • 法律状态
2016-02-24  实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/67申请日:20150610
2016-01-27  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  一种用于将裸片粘接至基材的粘接头,所述粘接头包括:主体,所述主体连接至用于传递所述裸片的驱动部段;板加热器,所述板加热器安装至所述主体的下表面;夹头,所述夹头安装至所述板加热器的下表面并构造成利用真空压力来保持所述裸片;和冷却管,所述冷却管设置成穿过所述主体并且冷却流体循环穿过所述冷却管以冷却所述板加热器。
公开号  105280527A
公开日  2016-01-27
专利代理机构  上海和跃知识产权代理事务所(普通合伙) 31239
代理人  胡艳
颁证日  
优先权  2014.06.10 KR 10-2014-0069959
国际申请  
国际公布  
进入国家日期