搜索 分析 新世界 法规 图书 网址导航 更多
高级用户登录 | 登录 | |

切断装置以及切断方法
审中-实审

申请号:201510315553.0 申请日:2015-06-10
摘要:本发明提供一种切断装置及切断方法。在切断装置中,即使产品较小时也稳定地进行单片化。使用第一切断条件沿着第一切断线(32)切断封装基板(12)以形成中间体(36)。接着使用第二切断条件切断中间体(36)以进行单片化。据此,将中间体(36)分别单片化为产品(P),该产品(P)相当于由第一切断线(32)和第二切断线(33)包围的区域(34)。相比形成中间体(36)时的第一切断条件中的切削水的流量,使单片化为产品(P)时的第二切断条件中的切削水的流量减少。通过减少第二切断条件中的切削水的流量,从而即使在产品(P)较小时,也能够防止因切削水的水压导致产品(P)从切断用工作台(11)的规定位置错位或跳起。
申请人: 东和株式会社
地址: 日本京都市
发明(设计)人: 和泉裕也 今井一郎 石桥干司
主分类号: H01L21/67(2006.01)I
分类号: H01L21/67(2006.01)I
  • 法律状态
2016-02-24  实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/67申请日:20150610
2016-01-27  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  一种切断装置,具备:工作台,载置有被切断物,所述被切断物具有由多个切断线包围的多个区域;切断单元,切断所述被切断物;移动机构,使所述工作台与所述切断单元相对地移动;以及切削水供给机构,对所述切断单元与所述被切断物相接触的被加工点供给切削水,该切断装置在使所述被切断物单片化来制造与所述各个区域相对应的产品时被使用,其特征在于,具备:控制部,对用于切断被切断物的切断条件进行控制,所述控制部至少具有第一切断条件和第二切断条件来作为所述切断条件,所述第一切断条件用于通过沿着多个所述切断线的一部分切断所述被切断物来生成包括多个所述区域的中间体,所述第二切断条件用于通过切断所述中间体来单片化为所述产品,所述第二切断条件中的所述切削水的流量少于所述第一切断条件中的所述切削水的流量。
公开号  105280526A
公开日  2016-01-27
专利代理机构  北京德琦知识产权代理有限公司 11018
代理人  张路 王琦
颁证日  
优先权  2014.07.18 JP 2014-147250
国际申请  
国际公布  
进入国家日期