搜索 分析 新世界 法规 图书 网址导航 更多
高级用户登录 | 登录 | |

一种蓝宝石晶体半球罩的生长装置及其生长方法
审中-实审

申请号:201510310759.4 申请日:2015-06-09
摘要:本发明涉及一种蓝宝石晶体半球罩导模法的生长装置及生长方法,所述方法具体主要步骤为向晶体生长炉和冷却盘内分别通入保护性气体和冷却气体,晶体生长炉升温至高纯氧化铝原材料熔化,调节吊盘使氧化铝熔液沿模具对称轴上的中心通孔和环形毛细缝上升到模具的顶端,下降籽晶与氧化铝熔液熔合在一起,在亲合力和表面张力的作用下,利用调节冷却盘内冷却气体的流量,增强生长界面与气体冷却盘之间的辐射换热以加快晶体的扩展,晶体的扩展终被模具顶部边缘限定。本发明的优点在于:通过控制模具和坩埚的相对位置而调整模具内部熔液的供应,再确保毛细缝的熔液连续提供,以实现连续生长,再利用冷却气体防止六角形环状冷却盘被碳化变形。
申请人: 江苏中电振华晶体技术有限公司
地址: 226500 江苏省南通市如皋市如城镇海阳南路(南延)1号
发明(设计)人: 薛卫明 马远 吴勇 周健杰
主分类号: C30B15/34(2006.01)I
分类号: C30B15/34(2006.01)I C30B29/20(2006.01)I
  • 法律状态
2015-09-23  实质审查的生效IPC(主分类):C30B 15/34申请日:20150609
2015-08-26  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  一种蓝宝石晶体半球罩导模法生长装置,包括晶体生长炉以及安装在炉内的坩埚、模具、吊盘以及安装在吊盘上端面的吊杆,所述模具的下端浸渍在坩埚内的氧化铝熔液中,其上端端部安装在吊盘中心并由吊杆带动其上下移动;其特征在于:所述吊杆上还安装一气体冷却盘,所述气体冷却盘为一具有回转结构的中空柱体,该气体冷却盘水平设置在吊盘的上方;所述气体冷却盘的中心为一供籽晶下降引晶或晶体生长的引晶通道,其内侧壁具有若干层沿轴向均匀分布的冷却片;所述每层冷却片呈环状,其中空设置并形成一供冷却气体通入的环状空腔;所述气体冷却盘两侧具有一对称设置并沿轴向延伸的进气通道和出气通道,所述进气通道的顶部为一总进气口,其下端开有若干与环状空腔连通的支进气口,所述出气通道的顶部为一总出气口,其下端开有若干与环状空腔连通的支出气口;所述模具为一具有回转体结构的柱体,其上端面中心具有一供晶体生长的半球形凹槽,该半球形凹槽的底部中心具有一沿模具轴向延伸至模具底部的中心通孔,所述模具边缘具有一环形毛细缝,该环形毛细缝由模具顶部延伸至模具底部;所述模具的底部具有一与模具中心通孔相通的底部通道;所述气体冷却盘与模具同轴设置,并由吊杆带动其同时靠近或远离下方的坩埚。
公开号  104862775A
公开日  2015-08-26
专利代理机构  北京一格知识产权代理事务所(普通合伙) 11316
代理人  滑春生
颁证日  
优先权  
国际申请  
国际公布  
进入国家日期