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用于在反应性金属膜上电化学沉积金属的方法
审中-实审

申请号:201510290709.4 申请日:2015-05-29
摘要:根据本公开案的一个实施方式,提供了一种用于在工件上的反应性金属膜上沉积金属的方法,所述方法包含:使用电镀电解液以及施加在约-0.5V至约-4V范围内的阴极电势来在工件上形成的种晶层上电化学地沉积金属化层,所述电镀电解液具有至少一种电镀金属离子和约1至约6的pH范围。其中所述工件包括设置在所述工件的所述种晶层和电介质表面之间的阻挡层,所述阻挡层包含第一金属,所述第一金属具有比0V更负性的标准电极电势,以及所述种晶层包含第二金属,所述第二金属具有比0V更正性的标准电极电势。
申请人: 应用材料公司
地址: 美国加利福尼亚州
发明(设计)人: 罗伊·沙维夫 伊斯梅尔·T·埃迈什 迪米特里奥斯·阿吉里斯 塞尔达·阿克苏
主分类号: H01L23/532(2006.01)I
分类号: H01L23/532(2006.01)I H01L21/768(2006.01)I
  • 法律状态
2017-06-06  实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 23/532申请日:20150529
2016-01-27  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  一种用于在工件上的反应性金属膜上沉积金属的方法,所述方法包括:使用电镀电解液以及施加在约?0.5V至约?4V范围内的阴极电势来在工件上形成的种晶层上电化学地沉积金属化层,所述电镀电解液具有至少一种电镀金属离子和约1至约6的pH范围,其中所述工件包括设置在所述工件的所述种晶层和电介质表面之间的阻挡层,所述阻挡层包含第一金属,所述第一金属具有比0V更负性的标准电极电势,以及所述种晶层包含第二金属,所述第二金属具有比0V更正性的标准电极电势。
公开号  105280614A
公开日  2016-01-27
专利代理机构  北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006
代理人  徐金国 赵静
颁证日  
优先权  2014.05.30 US 14/292,385;2014.05.30 US 14/292,426;2015.03.03 US 14/637,316
国际申请  
国际公布  
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