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基板处理设备和方法
审中-实审

申请号:201510284646.1 申请日:2015-05-28
摘要:本发明构思提供一种用于处理基板的设备。所述设备包括壳体,所述壳体在其内具有处理空间;支撑单元,所述支撑单元在所述处理空间中支撑所述基板;喷嘴单元,所述喷嘴单元将溶液排放到由所述支撑单元支撑的所述基板上;以及溶液供应单元,所述溶液供应单元将所述溶液供应至所述喷嘴单元。所述溶液供应单元包括溶液供应管线,所述溶液供应管线连接至所述喷嘴单元;加热构件,所述加热构件安装在所述溶液供应管线上以加热所述溶液;以及回收管线,所述回收管线在设置于所述加热构件下游的第一点处从所述溶液供应管线分出。
申请人: 细美事有限公司
地址: 韩国忠淸南道天安市西北区稷山邑四产团五街77号
发明(设计)人: 金奉主 李昇浩 崔龙贤 姜秉万
主分类号: H01L21/67(2006.01)I
分类号: H01L21/67(2006.01)I
  • 法律状态
2016-02-24  实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/67申请日:20150528
2016-01-27  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  一种用于处理基板的设备,其特征在于,所述设备包括:处理容器,所述处理容器在其内具有处理空间;支撑单元,所述支撑单元在所述处理空间中支撑所述基板;喷嘴单元,所述喷嘴单元将溶液排放到由所述支撑单元支撑的所述基板上;以及溶液供应单元,所述溶液供应单元将所述溶液供应至所述喷嘴单元;其中,所述溶液供应单元包括:溶液供应管线,所述溶液供应管线连接至所述喷嘴单元;加热构件,所述加热构件安装在所述溶液供应管线上以加热所述溶液;以及回收管线,所述回收管线在设置于所述加热构件下游的第一点处从所述溶液供应管线分出。
公开号  105280523A
公开日  2016-01-27
专利代理机构  北京中博世达专利商标代理有限公司 11274
代理人  申健
颁证日  
优先权  2014.05.29 KR 10-2014-0065348
国际申请  
国际公布  
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