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基于引线框架的MEMS传感器结构
审中-实审

申请号:201510276881.4 申请日:2015-05-27
摘要:本发明涉及基于引线框架的MEMS传感器结构。公开一种传感器结构。该传感器结构可以包含:用于支撑MEMS传感器的引线框架;在引线框架的表面中的凹部;以及耦合到引线框架的表面并且布置在凹部之上以形成腔的MEMS传感器。替选地,引线框架可以具有穿过它形成的穿孔并且MEMS传感器可以被耦合到引线框架的表面并且布置在穿孔的开口之上。
申请人: 英飞凌科技股份有限公司
地址: 德国瑙伊比贝尔格市坎芘昂1-12号
发明(设计)人: C.加雷马尼 D.科尔 U.辛德勒 H.托伊斯
主分类号: H01L23/043(2006.01)I
分类号: H01L23/043(2006.01)I B81B7/02(2006.01)I
  • 法律状态
2016-02-24  实质审查的生效IPC(主分类):H01L 23/043申请日:20150527
2016-01-27  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  一种传感器结构,包括:用于支撑MEMS传感器的引线框架;在所述引线框架的表面中的凹部;以及MEMS传感器,耦合到所述引线框架的表面并且布置在所述凹部之上以形成腔。
公开号  105280561A
公开日  2016-01-27
专利代理机构  中国专利代理(香港)有限公司 72001
代理人  申屠伟进 胡莉莉
颁证日  
优先权  2014.05.27 US 14/287230
国际申请  
国际公布  
进入国家日期