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一种柔性基板蒸镀装置及蒸镀方法
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申请号:201510250246.9 申请日:2015-05-15
摘要:本发明提供一种柔性基板蒸镀装置及蒸镀方法,属于显示技术领域,其可解决现有的蒸镀柔性基板的方法易损坏柔性基板上已经蒸镀好的结构的问题。本发明的柔性基板蒸镀装置包括至少两个卷轴,用于缠绕和固定柔性基板;线源单元,位于两个卷轴之间的柔性基板的一侧,用于蒸镀两个卷轴之间的柔性基板。本发明的柔性基板蒸镀装置,采用卷轴缠绕和固定柔性基板,蒸镀完成后无需将柔性基板从玻璃基板上剥落,不会损坏柔性基板上已经蒸镀好的结构。本发明的柔性基板蒸镀装置可以实现连续作业,提高生产效率。本发明的柔性基板蒸镀装置适用于蒸镀所有类型的柔性基板。
申请人: 京东方科技集团股份有限公司
地址: 100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号
发明(设计)人: 赵德江
主分类号: C23C14/24(2006.01)I
分类号: C23C14/24(2006.01)I C23C14/56(2006.01)I
  • 法律状态
2017-04-19  授权
2015-09-23  实质审查的生效IPC(主分类):C23C 14/24申请日:20150515
2015-08-26  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  一种柔性基板蒸镀装置,其特征在于,包括:至少两个卷轴,用于缠绕和固定柔性基板;线源单元,位于两个卷轴之间的柔性基板的一侧,用于蒸镀两个卷轴之间的柔性基板。
公开号  104862650A
公开日  2015-08-26
专利代理机构  北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112
代理人  柴亮 张天舒
颁证日  
优先权  
国际申请  
国际公布  
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