搜索 分析 新世界 法规 图书 网址导航 更多
高级用户登录 | 登录 | |

一种热丝拉紧装置
有权
阅读授权文献

申请号:201510226286.X 申请日:2015-05-06
摘要:一种热丝拉紧装置,属于机械滑动部件与装置,用于有效地防止热丝因加热而产生的伸长下垂。本发明包括盒体、滑轨,滑动板、支撑板、上端盖、左端盖、中间连接板、左端连接板、钼棒螺杆,滑轨、滑动板以及固定在滑动板上方的支撑板共同构成了滑动系统;使用时,所述左端盖通过螺栓与热丝沉积系统的腔体外壁连接,左端盖的左侧面朝向热丝沉积系统内腔。本发明利用简单的弹簧、滑道等机械部件以及铜片的温度特性,简单有效的实现了HFCVD系统中热丝在加热过程中自动拉紧的目的,不仅保证衬底材料附近温度场的稳定,而且提高了热丝的寿命。
申请人: 华中科技大学
地址: 430074 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号
发明(设计)人: 许剑锋 陶俭 陈肖 郭峰 张伟 杨威 许光立 方舒畅
主分类号: C23C16/448(2006.01)I
分类号: C23C16/448(2006.01)I
  • 法律状态
2017-04-19  授权
2015-09-23  实质审查的生效IPC(主分类):C23C 16/448申请日:20150506
2015-08-26  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  一种热丝拉紧装置,包括盒体(10)、滑轨(20),滑动板(22)、支撑板(23)、上端盖(13)、左端盖(14)、中间连接板(30)、左端连接板(31)、钼棒螺杆(40),其特征在于:所述盒体(10)由四个侧面和底面连接构成,上端面敞开,盒体(10)左侧面开有窗口,盒体(10)右侧面装有穿过右侧面的套筒(11),套筒(11)内孔具有内螺纹,调节螺杆(12)旋入套筒(11)与其螺纹配合;所述滑轨(20)通过滑轨垫板(21)固定于盒体(10)内底面上,滑轨(20)上装有滑动板(22),两者构成滑动配合,所述支撑板(23)固定在滑动板(22)上,支撑板(23)的右端和所述调节螺杆(12)的左端之间通过弹簧(15)连接;所述上端盖(13)通过螺栓连接于所述盒体(10)上端面,将其封闭;所述左端盖(14)通过螺栓连接于所述盒体(10)左侧面,左端盖(14)上开有贯穿(14C),其位置与盒体左侧面的窗口对应;所述中间连接板(30)置于所述支撑板(23)之上并受其制约而随其移动,中间连接板(30)的左端穿过所述盒体左侧面的窗口及左端盖(14)的贯穿口,与所述左端连接板(31)的右端连接,所述左端连接板(31)的左端开有螺纹孔31A,所述钼棒螺杆(40)通过该螺纹孔与左端连接板(31)螺纹连接,铜片电极(41)通过螺母固定于钼棒螺杆(40)的下端,钼棒螺杆(40)的上端用于安装热丝架;使用时,所述左端盖(14)通过螺栓与热丝沉积系统的腔体外壁连接,左端盖(14)的左侧面朝向热丝沉积系统内腔。
公开号  104862670A
公开日  2015-08-26
专利代理机构  华中科技大学专利中心 42201
代理人  曹葆青
颁证日  
优先权  
国际申请  
国际公布  
进入国家日期