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一种基于磁控溅射技术的钢球镀膜夹具装置
审中-实审
著录变更

申请号:201510222626.1 申请日:2015-05-04
摘要:本发明是有关于一种基于磁控溅射技术的钢球镀膜夹具装置,包含底板、立柱、钢球镀膜盘、旋转主轴、连接轴、滑块以及圆锥台,其中立柱固设在底板上,且其上部有空腔;钢球镀膜盘与定位构件紧固连接,该定位构件嵌装在立柱上的空腔内,且该定位构件与所述空腔之间有间距;旋转主轴固定在底板上,且其下端与该磁控溅射设备的旋转主轴对接;连接轴水平固定在旋转主轴上;圆锥台连接在连接轴上,且该圆锥台与钢球镀膜盘的底面相接触,并使钢球镀膜盘倾斜;以及滑块设在底板上临近立柱的地方,且该滑块固定在磁控溅射设备的相应轨道上。本发明钢球镀膜夹具装置使得托盘内的钢球同时作公转和自转运动,使得钢球表面的镀层均匀、稳定。
申请人: 洛阳理工学院
地址: 471000 河南省洛阳市高新开发区芳泽路
发明(设计)人: 贾贵西 胡鹏飞 王海霞 赵海军
主分类号: C23C14/50(2006.01)I
分类号: C23C14/50(2006.01)I C23C14/35(2006.01)I
  • 法律状态
2016-09-28  著录事项变更 IPC(主分类):C23C 14/50变更事项:申请人变更前:洛阳理工学院变更后:洛阳理工学院变更事项:地址变更前:471000 河南省洛阳市高新开发区芳泽路变更后:471000 河南省洛阳市涧西区九都西路71号
2015-09-23  实质审查的生效IPC(主分类):C23C 14/50申请日:20150504
2015-08-26  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  一种基于磁控溅射技术的钢球镀膜夹具装置,包含底板、立柱、钢球镀膜盘、旋转主轴、连接轴、滑块以及圆锥台,其特征在于:所述立柱固设在底板上,且其上部有空腔;所述的钢球镀膜盘与定位构件紧固连接,该定位构件嵌装在立柱上的空腔内,且该定位构件与所述空腔之间有间距;所述的旋转主轴固定在底板上,且其下端与该磁控溅射设备的旋转主轴对接;所述的连接轴水平固定在旋转主轴上;所述的圆锥台连接在连接轴上,且该圆锥台与钢球镀膜盘的底面相接触,并使钢球镀膜盘倾斜;以及所述的滑块设在底板上临近立柱的地方,且该滑块固定在磁控溅射设备的相应轨道上。
公开号  104862661A
公开日  2015-08-26
专利代理机构  北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019
代理人  寿宁 张华辉
颁证日  
优先权  
国际申请  
国际公布  
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