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一种钛合金表面纳米Ti/TiN梯度膜及其制备方法
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申请号:201510185075.6 申请日:2015-04-17
摘要:一种钛合金表面纳米Ti/TiN梯度膜及其制备方法,属于材料技术领域,梯度膜为Ti基TiN纳米粒子梯度膜,TiN纳米粒子镶嵌在Ti基体薄膜中,TiN纳米粒子的体积分数沿基体到膜表面方向梯度增加,总厚度在2.5~6.0μm。制备方法为:(1)将基体在真空条件下加热保温;(2)氩气压力为0.3~0.6Pa,进行离子轰击清洗表面;(3)向基体沉积Ti附着层;(4)通入氮气,向具有Ti附着层的基体表面沉积TiN,沉积TiN过程分为5~10级,氮气与氩气的流量比逐级增大,沉积时间逐级加长。本发明的产品与基体存在天然良好的晶格匹配关系以及结合性;表面光滑,致密度高,有利于提高抗磨损性能;制备工艺简单,易于操作。
申请人: 东北大学
地址: 110819 辽宁省沈阳市和平区文化路3号巷11号
发明(设计)人: 崔文芳 秦高悟 曹栋
主分类号: C23C14/35(2006.01)I
分类号: C23C14/35(2006.01)I C23C14/06(2006.01)I B82Y30/00(2011.01)I B82Y40/00(2011.01)I
  • 法律状态
2017-03-22  授权
2015-09-23  实质审查的生效IPC(主分类):C23C 14/35申请日:20150417
2015-08-26  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  一种钛合金表面纳米Ti/TiN梯度膜,为Ti基TiN纳米粒子梯度膜,TiN纳米粒子镶嵌在Ti基体薄膜中,其特征在于:TiN纳米粒子的体积分数沿基体到膜表面方向梯度增加,总厚度在2.5~6.0μm。
公开号  104862657A
公开日  2015-08-26
专利代理机构  沈阳东大知识产权代理有限公司 21109
代理人  梁焱
颁证日  
优先权  
国际申请  
国际公布  
进入国家日期