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一种钛合金表面梯度Ni/TiN复合改性层的制备方法
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申请号:201510158405.2 申请日:2015-04-07
摘要:本发明涉及表面层处理领域,具体是一种钛合金表面复合改性层的制备方法,一种钛合金表面梯度Ni/TiN复合改性层的制备方法是利用双辉等离子体渗金属技术首先在钛合金表面渗镍,制备出作为过渡层的镍合金层,然后在镍合金化试样表面渗氮,制备出TiN薄膜,所制得的钛合金表面改性层是Ni/TiN复合改性层。本发明复合改性层具有渗层厚,变形协调能力好,硬度高,耐海水腐蚀以及综合力学性能好的优点,可广泛应用于耐磨性能要求高,韧性好,耐海水腐蚀的工况条件。
申请人: 太原理工大学
地址: 030024 山西省太原市万柏林区迎泽西大街79号
发明(设计)人: 王振霞 杨红玉 任列香 吴海瑞 单小林 贺志勇 刘小萍 林乃明
主分类号: C23C14/16(2006.01)I
分类号: C23C14/16(2006.01)I C23C14/34(2006.01)I C23C8/36(2006.01)I
  • 法律状态
2017-05-31  授权
2015-09-23  实质审查的生效IPC(主分类):C23C 14/16申请日:20150407
2015-08-26  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  一种钛合金表面梯度Ni/TiN复合改性层的制备方法,其所述制备方法按以下步骤进行:步骤一、将打磨、抛光后的钛合金基材和高纯度镍靶材置于等离子合金化炉内,抽真空至0.5Pa后,通入高纯氩气,气压控制在35Pa,同时开启工件电源和源极电源,使工件电压高于源极电压,压差保持250V,缓慢升高电压,温度升至930℃后,保温30min,对工件表面进行预溅射;步骤二、预溅射完成后,迅速调节源极和工件电压,使源极电压高于工件电压,压差250V,温度保持930±5℃,气压35Pa,保温3h,然后关闭工件和源极电源,调节气压到40~50Pa,随炉冷却2h后关闭氩气,继续抽真空,待工件冷却至室温后,关闭冷却水,最后打开炉体取出试样;步骤三、将制备的镍合金化试样置于等离子体渗氮炉中,抽真空至0.5Pa后,通入氨气,气压控制在500Pa,开启工件电源,缓慢升高电压,温度升至830±5℃,保温3h,然后关闭工件电源,随炉冷却1h后关闭高纯度氨气,继续抽真空,待工件冷却到室温关闭冷却水,打开炉体取出试样。
公开号  104862649A
公开日  2015-08-26
专利代理机构  太原市科瑞达专利代理有限公司 14101
代理人  李富元
颁证日  
优先权  
国际申请  
国际公布  
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