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一种太阳能电池钝化减反薄膜及其制备方法
审中-实审
著录变更

申请号:201510109372.2 申请日:2015-03-13
摘要:本发明公开了一种太阳能电池钝化减反膜,包括依次设置于太阳能电池受光面发射结上的三氧化二铝层、氧化硅层、氟化镁层。同时,本发明还公开了一种用于生产所述太阳能电池钝化减反膜的制备方法,包括如下步骤:(1)清洗太阳能电池受光面发射结表面;(2)在太阳能电池表面,通过等离子增强化学气相沉积或原子层沉积方法制备三氧化二铝层;(3)在三氧化二铝层上,通过等离子增强化学气相沉积、或电子束蒸镀、或溅射方法制备氧化硅层;(4)在氧化硅层上,通过溅射或激光脉冲沉积方法制备氟化镁层;(5)对制备的薄膜实施退火。本发明的钝化减反膜具有较好的光学减反特性,有利于提高太阳能电池的转换效率,适合于太阳能电池的大规模制造。
申请人: 常州天合光能有限公司
地址: 213031 江苏省常州市新北区天合光伏产业园天合路2号
发明(设计)人: 盛赟 蔡文浩
主分类号: H01L31/0216(2014.01)I
分类号: H01L31/0216(2014.01)I H01L31/18(2006.01)I
  • 法律状态
2018-02-23  著录事项变更 IPC(主分类):H01L 31/0216变更事项:申请人变更前:天合光能有限公司变更后:天合光能股份有限公司变更事项:地址变更前:213031 江苏省常州市新北区天合光伏产业园天合路2号变更后:213031 江苏省常州市新北区天合光伏产业园天合路2号
2018-02-23  著录事项变更 IPC(主分类):H01L 31/0216变更事项:申请人变更前:常州天合光能有限公司变更后:天合光能有限公司变更事项:地址变更前:213031 江苏省常州市新北区天合光伏产业园天合路2号变更后:213031 江苏省常州市新北区天合光伏产业园天合路2号
2016-02-24  实质审查的生效IPC(主分类):H01L 31/0216申请日:20150313
2016-01-27  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  一种太阳能电池钝化减反膜,包括依次设置于太阳能电池受光面发射结上的三氧化二铝层、氧化硅层、氟化镁层。
公开号  105280729A
公开日  2016-01-27
专利代理机构  浙江永鼎律师事务所 33233
代理人  郭小丽
颁证日  
优先权  
国际申请  
国际公布  
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