搜索 分析 新世界 法规 图书 网址导航 更多
高级用户登录 | 登录 | |

一种无上下互连电极的LC无线无源压力传感器
有权
阅读授权文献

申请号:201510043292.1 申请日:2015-01-28
摘要:一种无上下互连电极的LC无线无源压力传感器,涉及一种压力传感器。设有上基板和下基板,上基板下表面设有上凹槽,下基板上表面设有下凹槽,上凹槽与下凹槽之间形成空腔;在空腔内从上至下设有上金属层和下金属层,所述上金属层设有平面电感线圈、可变电容上极板、固定电容上极板,可变电容上极板位于平面电感线圈中间,固定电容上极板位于平面电感线圈外部;所述平面电感线圈的内侧连接头与可变电容上极板连接,平面电感线圈的外侧连接头与固定电容上极板连接;所述下金属层设有可变电容下极板、固定电容下极板、连接可变电容下极板和固定电容下极板的互连线。制备工艺简单,密封性能好,生产成本低。
申请人: 厦门大学
地址: 361005 福建省厦门市思明南路422号
发明(设计)人: 刘益芳 陈丹儿 郑成 蔡建法 王欢 王凌云
主分类号: G01L1/14(2006.01)I
分类号: G01L1/14(2006.01)I G01L9/12(2006.01)I
  • 法律状态
2017-03-01  授权
2015-05-20  实质审查的生效IPC(主分类):G01L 1/14申请日:20150128
2015-04-22  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  一种无上下互连电极的LC无线无源压力传感器,其特征在于设有上基板和下基板,上基板下表面设有上凹槽,下基板上表面设有下凹槽,上凹槽与下凹槽之间形成空腔;在空腔内从上至下设有上金属层和下金属层,所述上金属层设有平面电感线圈、可变电容上极板、固定电容上极板,可变电容上极板位于平面电感线圈中间,固定电容上极板位于平面电感线圈外部;所述平面电感线圈的内侧连接头与可变电容上极板连接,平面电感线圈的外侧连接头与固定电容上极板连接;所述下金属层设有可变电容下极板、固定电容下极板、连接可变电容下极板和固定电容下极板的互连线。
公开号  104535228A
公开日  2015-04-22
专利代理机构  厦门南强之路专利事务所(普通合伙) 35200
代理人  马应森
颁证日  
优先权  
国际申请  
国际公布  
进入国家日期