搜索 分析 新世界 法规 图书 网址导航 更多
高级用户登录 | 登录 | |

一种改进的压力传感器结构
有权
阅读授权文献

申请号:201480031498.6 申请日:2014-06-04
摘要:一种微机电压力传感器结构,包括平面基座、侧壁、和隔膜板。侧壁层围绕地从平面基座延伸到侧壁层的上表面。平面基座、侧壁以及隔膜板彼此附接,以在基准压力下形成密封的闭合间隙,并且侧壁的内表面的上边缘形成隔膜的外围。隔膜板包括一个或更多个平面材料层,平面材料层的第一平面材料层跨隔膜的外围。侧壁的上表面包括至少一个不被第一平面材料层覆盖的隔离区域。
申请人: 株式会社村田制作所
地址: 日本京都府
发明(设计)人: 海基·库斯玛
主分类号: G01L19/06(2006.01)I
分类号: G01L19/06(2006.01)I B81B3/00(2006.01)I
  • 法律状态
2017-10-27  授权
2016-02-24  实质审查的生效IPC(主分类):G01L 19/06申请日:20140604
2016-01-27  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  一种微机电压力传感器结构,其包括平面基座、侧壁层以及隔膜板,其中,所述侧壁层形成侧壁,所述侧壁围绕地从所述平面基座延伸至所述侧壁层的上表面;所述平面基座、所述侧壁层以及所述隔膜板彼此附接,以在基准压力下形成密封的闭合间隙;所述侧壁层的所述上表面包括至少一个隔离区域,所述隔离区域不被所述隔膜板覆盖。
公开号  105283745A
公开日  2016-01-27
专利代理机构  北京集佳知识产权代理有限公司 11227
代理人  杜诚 杨铁成
颁证日  
优先权  2013.06.04 FI 20135618
国际申请  2014-06-04 PCT/IB2014/061939
国际公布  2014-12-11 WO2014/195878 EN
进入国家日期  2015.12.01