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热敏电阻用金属氮化物材料及其制造方法以及薄膜型热敏电阻传感器
有权
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申请号:201480031428.0 申请日:2014-08-15
摘要:本发明的用于热敏电阻的金属氮化物材料,由以通式:Mx(Al1-vSiv)y(N1-wOw)z表示的金属氮化物构成,其中,M表示Ti、V、Cr、Mn、Fe及Co中的至少一种,0.0<v<0.3、0.70≤y/(x+y)≤0.98、0.45≤z≤0.55、0<w≤0.35、x+y+z=1,其结晶结构为六方晶系的纤锌矿型的单相。该热敏电阻用金属氮化物材料的制造方法具有成膜工序,所述成膜工序使用M-Al-Si合金溅射靶在含氮及氧的气氛中进行反应性溅射而成膜,其中,M表示Ti、V、Cr、Mn、Fe及Co中的至少一种。
申请人: 三菱综合材料株式会社
地址: 日本东京
发明(设计)人: 藤田利晃 田中宽 长友宪昭
主分类号: H01C7/04(2006.01)I
分类号: H01C7/04(2006.01)I H01C17/12(2006.01)I
  • 法律状态
2018-02-13  授权
2016-05-04  实质审查的生效IPC(主分类):H01C 7/04申请日:20140815
2016-01-20  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  一种热敏电阻用金属氮化物材料,其是用于热敏电阻的金属氮化物材料,其特征在于,由以通式:Mx(Al1?vSiv)y(N1?wOw)z表示的金属氮化物构成,其中,M表示Ti、V、Cr、Mn、Fe及Co中的至少一种,0.0<v<0.3、0.70≤y/(x+y)≤0.98、0.45≤z≤0.55、0<w≤0.35、x+y+z=1,所述热敏电阻用金属氮化物材料的结晶结构为六方晶系的纤锌矿型的单相。
公开号  105264619A
公开日  2016-01-20
专利代理机构  北京德琦知识产权代理有限公司 11018
代理人  康泉 王珍仙
颁证日  
优先权  2013.08.30 JP 2013-180303
国际申请  2014-08-15 PCT/JP2014/072077
国际公布  2015-03-05 WO2015/029915 JA
进入国家日期  2015.12.01