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用于测量平台的混合振动隔离系统
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Hybrid vibration isolation systems for metrology platforms

申请号:201480028684.4 申请日:2014-03-28
摘要:本发明提供测量工具,其包括主动振动隔离装置及被动振动隔离装置两者。测量工具可包括组合在所述测量工具的不同支撑结构中以阻尼及减少广泛频率及强度范围中的振动的被动隔离系统或主动隔离系统,例如约束层阻尼器、颗粒冲击阻尼器或液体冲击阻尼器及/或噪声消除转换器。可应用频率范围的频谱分析及优化以根据所提供的原理确定特定工具配置。
Abstract: Metrology tools are provided, which comprise both active and passive vibration isolation devices. Metrology tools may comprise passive or active isolation systems such as constrained layer dampers, particle impact dampers or liquid impact dampers, and/or noise cancellation transducers, combined in different supporting structures of the metrology tool to dampen and reduce vibrations at a wide range of frequencies and intensities. Frequency range spectral analysis and optimization may be applied to determine specific tool configurations according to the provided principles.
申请人: 科磊股份有限公司
Applicant: KLA TENCOR CORP
地址: 美国加利福尼亚州
发明(设计)人: B·戈洛瓦尼夫斯基 N·沙皮恩
Inventor: GOLOVANEVSKY BORIS; SAPIENS NOAM
主分类号: F16F15/02(2006.01)I
分类号: F16F15/02(2006.01)I F16F15/04(2006.01)I
  • 法律状态
2018-01-12  授权
2016-04-27  实质审查的生效IPC(主分类):F16F 15/02申请日:20140328
2016-01-06  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  一种度量工具,其包括主动振动隔离装置及被动振动隔离装置两者。
公开号  105229334A
公开日  2016-01-06
专利代理机构  北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287
代理人  张世俊
颁证日  
优先权  2013.03.28 US 61/806,053
 
国别 优先权号 优先权日 类型
WO  PCT/US2014/032248  20140328  PCT application claimed as a regional filing N 
US  61/806,053  20130328 
国际申请  2014-03-28 PCT/US2014/032248
国际公布  2014-10-02 WO2014/160976 EN
进入国家日期  2015.11.16
  • 专利对比文献
类型 阶段 文献号 公开日期 涉及权利要求项 相关页数
SEA  CN2144540Y  19931027  1-24  全文 
SEA  US2002101135A1  20020801  1-24  全文 
SEA  US2006272910A1  20061207  1-24  全文 
SEA  CN101182870A  20080521  1-24  全文 
SEA  US2011180160A1  20110728  18  说明书第0099段、图9 
SEA  US2012242969A1  20120927  17-22  说明书第0031-0049段、图1-4 
SEA  WO2013014503A1  20130131  17-22  说明书第12页第27行-第13页第3行、图2d 
注:不保证该信息的有效性、完整性、准确性,以上信息也不具有任何效力,仅供参考。使用前请另行委托专业机构进一步查核,使用该信息的一切后果由用户自行负责。
X:单独影响权利要求的新颖性或创造性的文件;
Y:与检索报告中其他 Y类文件组合后影响权利要求的创造性的文件;
A:背景技术文件,即反映权利要求的部分技术特征或者有关的现有技术的文件;
R:任何单位或个人在申请日向专利局提交的、属于同样的发明创造的专利或专利申请文件;
P:中间文件,其公开日在申请的申请日与所要求的优先权日之间的文件,或会导致需核实该申请优先权的文件;
E:单独影响权利要求新颖性的抵触申请文件。
  • 期刊对比文献
类型 阶段 期刊文摘名称 作者 标题 涉及权利要求项 相关页数
  • 书籍对比文献
类型 阶段 书名 作者 标题 涉及权利要求项 相关页数