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光罩检查机
审中-实审

申请号:201410737180.1 申请日:2014-12-05
摘要:本发明涉及一种光罩检查机,其于机架上设有一位于载台上方的光学影像处理模组,且该光学影像处理模组与该载台可相对线性位移,又该光学影像处理模组可向下撷取该载台上光罩的影像,再者该上检测模组于该光学影像处理模组一侧另设有一导光单元,该导光单元具有一光源及一导光板,其中该导光板可导引该光源的光线以线性方式照射于该光学影像处理模组的扫描位置,藉此,可利用由线性影像感光元件构成的光学影像处理模组,快速扫描光罩的表面,且通过斜设的导光单元导光板的作用,使光源的光线可斜射于光学影像处理模组扫描处,而提高其聚焦效果,从而提高污染物的辨识率,故能有效增进其检查效率与准确率,减少不必要的人力及误判状况,进一步可提高晶圆后续加工的合格率。
申请人: 家登精密工业股份有限公司 陈明生
地址: 中国台湾新北市
发明(设计)人: 陈明生 邱铭乾
主分类号: G03F1/84(2012.01)I
分类号: G03F1/84(2012.01)I G01N21/94(2006.01)I
  • 法律状态
2016-07-27  实质审查的生效IPC(主分类):G03F 1/84申请日:20141205
2016-06-29  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  一种光罩检查机,其特征在于其至少包含有:一机架,该机架上设有一供承载一光罩的载台;一上检测模组,其于该机架上设有一位于该载台上方的光学影像处理模组,且该光学影像处理模组与该载台能够相对线性位移,又该光学影像处理模组能够向下撷取该载台上该光罩的影像,供扫描、辨识、标示及储存该光罩的污染物,再者该上检测模组于该光学影像处理模组一侧另设有一导光单元,该导光单元具有一光源及一导光板,其中该导光板能够导引该光源的光线以线性方式照射于该光学影像处理模组的扫描位置,且该导光单元斜射的光线与该光学影像处理模组垂直的扫描线间形成有一夹角;藉此,进而组构成一迅速、且准确检出异物的光罩检查机。
公开号  105717739A
公开日  2016-06-29
专利代理机构  北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 11139
代理人  孙皓晨
颁证日  
优先权  
国际申请  
国际公布  
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