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一种掩模上版装置及校准方法
审中-实审
著录变更

申请号:201410724479.3 申请日:2014-12-04
摘要:本发明提供一种掩模上版装置,其特征在于,包括:传输机构,用于传输掩模版,所述传输机构包括第一第二机械手以及气缸,所述第一第二机械手的一端与所述气缸固定,所述第一机械手用于将所述掩模版从版库内取出传输至机械预对准装置以实现所述掩模版预对准,所述第二机械手用于将完成预对准的掩模版自所述机械预对准装置传输至掩模台。
申请人: 上海微电子装备有限公司
地址: 201203 上海市浦东新区张江高科技园区张东路1525号
发明(设计)人: 刘晓 袁剑峰
主分类号: G03F7/20(2006.01)I
分类号: G03F7/20(2006.01)I G03F9/00(2006.01)I
  • 法律状态
2017-09-29  著录事项变更 IPC(主分类):G03F 7/20变更事项:申请人变更前:上海微电子装备有限公司变更后:上海微电子装备(集团)股份有限公司变更事项:地址变更前:201203 上海市浦东新区张江高科技园区张东路1525号变更后:201203 上海市浦东新区张江高科技园区张东路1525号
2016-07-27  实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/20申请日:20141204
2016-06-29  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  一种掩模上版装置,其特征在于,包括:传输机构,用于传输掩模版,所述传输机构包括第一、第二机械手以及气缸,所述第一/第二机械手的一端与所述气缸固定,所述第一机械手用于将所述掩模版从版库内取出传输至机械预对准装置以实现所述掩模版预对准,所述第二机械手用于将完成预对准的掩模版自所述机械预对准装置传输至掩模台。
公开号  105717751A
公开日  2016-06-29
专利代理机构  上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237
代理人  屈蘅
颁证日  
优先权  
国际申请  
国际公布  
进入国家日期