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一种ICP刻蚀器件中的加热组件及加热组件设置方法
审中-实审

申请号:201410721394.X 申请日:2014-12-03
摘要:一种ICP刻蚀器件中的加热组件及加热组件设置方法,将一根完整的电阻丝组件分层设置,每一层电阻丝部分形成电阻丝层,电阻丝连接部分连接位于相邻电阻丝层内的电阻丝部分,相邻电阻丝层之间设置绝缘材料层,所有电阻丝层上的电阻丝部分形状相同且位置上下重合,使闭合回路的面积无限趋近0。本发明可避免在加热组件形成的闭合回路内产生感应电动势,大大降低了对感应线圈形成的感应磁场的影响,提高了加热的能力和均匀性。
申请人: 中微半导体设备(上海)有限公司
地址: 201201 上海市浦东新区金桥出口加工区(南区)泰华路188号
发明(设计)人: 万磊 黄智林 庞晓贝
主分类号: H05B6/10(2006.01)I
分类号: H05B6/10(2006.01)I
  • 法律状态
2016-07-27  实质审查的生效IPC(主分类):H05B 6/10申请日:20141203
2016-06-29  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  一种ICP刻蚀器件中的加热组件,该加热组件设置在ICP刻蚀器件中,所述的ICP刻蚀器件(1)包含:感应线圈(2),感应线圈(2)的两端通过引线(201)连接射频源(3),在射频源(3)的激励下,感应线圈(2)产生感应磁场;真空腔(101),真空腔(101)内的反应气体在感应线圈(2)产生的感应磁场的作用下产生等离子体(102),对半导体基片(5)进行刻蚀;陶瓷射频窗(103),其将感应线圈(2)和真空腔(101)隔离开来;其特征在于,所述的加热组件(8)包含电阻丝组件(801)和隔离组件,所述的电阻丝组件(801)和隔离组件设置在陶瓷射频窗(103)上表面,位于感应线圈(2)下方;所述的电阻丝组件(801)包含:多层上下相叠设置的电阻丝部分(81),每一层电阻丝部分(81)形成电阻丝层;连接位于相邻电阻丝层内的至少两个电阻丝部分(81)的电阻丝连接部分(82);所述的隔离组件包含多个设置在相邻电阻丝层之间的绝缘材料层;所有电阻丝层上的电阻丝部分(81)形状相同且位置上下重合。
公开号  105722261A
公开日  2016-06-29
专利代理机构  上海信好专利代理事务所(普通合伙) 31249
代理人  张妍 张静洁
颁证日  
优先权  
国际申请  
国际公布  
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