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一种反应腔室的上盖开启机构
审中-实审
著录变更

申请号:201410348775.8 申请日:2014-07-22
摘要:本发明涉及一种反应腔室的上盖开启机构,上盖开启机构位于反应腔室的一侧,其包括至少一个驱动单元;每个驱动单元包括第一固定件、第二固定件、第一连接件和驱动装置;第一固定件固定于上盖上;其与第一连接件的第一端通过固定销和活动销铰接;且固定销和活动沿远离第一连接件的第一端的方向依次设置;驱动装置与第一连接件的第二端铰接;第二固定件固定于反应腔室的腔体上;其与第一连接件铰接于活动销与第一连接件的第二端之间。上盖开启机构具有更大的承载能力,更简单的结构,并可以使上盖具有更大的开启角度。
申请人: 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
地址: 100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号
发明(设计)人: 张鹏
主分类号: H01L21/67(2006.01)I
分类号: H01L21/67(2006.01)I
  • 法律状态
2017-10-17  著录事项变更 IPC(主分类):H01L 21/67变更事项:申请人变更前:北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司变更后:北京北方华创微电子装备有限公司变更事项:地址变更前:100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号变更后:100176 北京经济技术开发区文昌大道8号
2016-02-24  实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/67申请日:20140722
2016-01-27  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  一种反应腔室的上盖开启机构,用于驱动反应腔室的上盖开启或关闭,其特征在于,所述上盖开启机构位于所述反应腔室的一侧,其包括至少一个驱动单元;每个驱动单元包括第一固定件、第二固定件、第一连接件和驱动装置;所述第一固定件固定于所述反应腔室的上盖上,其与所述第一连接件的第一端通过固定销和活动销铰接,且所述固定销和活动销沿远离所述第一连接件的第一端的方向依次设置;所述驱动装置与所述第一连接件的第二端铰接;所述第二固定件固定于所述反应腔室的腔体上,其与所述第一连接件铰接于所述活动销与第一连接件的第二端之间。
公开号  105280520A
公开日  2016-01-27
专利代理机构  北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112
代理人  彭瑞欣 张天舒
颁证日  
优先权  
国际申请  
国际公布  
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