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大数值孔径移相式双针孔衍射干涉仪及其测试方法
审中-实审

申请号:201410318139.0 申请日:2014-07-04
摘要:本发明涉及一种大数值孔径移相式双针孔衍射干涉仪及其测试方法,该衍射干涉仪包括:测试基准光路,测试光路,针孔基板;所述针孔基板上设有测试针孔和测试基准针孔;在所述测试针孔发出的衍射波前经所述针孔基板附近的被测试光学元部件反射后会聚到测试基准针孔附近,其波前中带有被测试光学元部件的面形信息,其经过针孔基板反射后与由测试基准针孔发出的衍射波前干涉形成干涉条纹。本发明的大数值孔径移相式双针孔衍射干涉仪采用双针孔基板和双光路会聚照明形式实现测试光路与基准光路的分离,防止两光路的相互干扰导致移相式过程中的干涉图像状态改变;通过小视场干涉图光学成像系统避开了测试光路对图像的影响,实现移相方式的大数值孔径测试。
申请人: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 VTT-NTM有限责任公司
地址: 130033 吉林省长春市东南湖大路3888号
发明(设计)人: 马冬梅
主分类号: G01M11/02(2006.01)I
分类号: G01M11/02(2006.01)I
  • 法律状态
2017-05-24  实质审查的生效 IPC(主分类):G01M 11/02申请日:20140704
2016-01-27  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  一种大数值孔径移相式双针孔衍射干涉仪,其特征在于,包括:测试基准光路(21),测试光路(22),针孔基板(14);所述针孔基板(14)上设有测试针孔(24)和测试基准针孔(23);在所述测试光路(22)上激光光源发出的激光可依次经过测试激光扩束系统(11)和测试激光会聚系统(13)后,照明针孔基板(14)上的测试针孔(24);在所述测试基准光路(21)上激光光源发出的激光依次经过测试基准激光扩束系统(6),光楔移相机构(7)和测试基准激光会聚系统(10)后,照明针孔基板(14)上的测试基准针孔(23);在所述测试针孔(24)发出的衍射波前经所述针孔基板(14)附近的被测试光学元部件(19)反射后会聚到测试基准针孔(23)附近,其波前中带有被测试光学元部件(19)的面形信息,其经过针孔基板(14)反射后与由测试基准针孔(23)发出的衍射波前干涉形成干涉条纹;根据形成的所述干涉条纹可以得到干涉图像;可通过光楔移相机构(7)获得多幅移相干涉图;经过对多幅移相干涉图的图像信息分析可高精度获得被测试光学元部件(19)的面形误差。
公开号  105277338A
公开日  2016-01-27
专利代理机构  长春菁华专利商标代理事务所 22210
代理人  张伟
颁证日  
优先权  
国际申请  
国际公布  
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