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一种氢氟酸清洗机的制造方法
无权-视为撤回

申请号:201410227528.2 申请日:2014-05-27
摘要:本发明公开了一种氢氟酸清洗机的制造方法:选择适合氢氟酸耐腐蚀要求的板材,且要求不影响超声波的效果;按照尺寸要求制作清洗槽;将清洗槽在清洗机上安装到位,调试清洗超声波强度,达到使用标准;加入氢氟酸溶剂,确认耐腐蚀效果。本发明的优点是能够较好的适应氢氟酸溶剂的腐蚀要求,并且达到超声波的强度测试要求,可以减少因金属结构清洗槽不能满足氢氟酸溶剂使用工艺要求而造成的不必要的损失,满足清洗新工艺要求,并且更好的延长清洗机使用寿命。
申请人: 镇江跃进机械厂有限公司
地址: 212004 江苏省镇江市润州区中山西路102号
发明(设计)人: 翟正平 张胜芳 张秋霞
主分类号: H01L21/67(2006.01)I
分类号: H01L21/67(2006.01)I H01L31/18(2006.01)I
  • 法律状态
2018-01-19  发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L 21/67申请公布日:20160127
2016-01-27  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  一种氢氟酸清洗机的制造方法,其特征在于包括以下步骤:(1)选择适合氢氟酸耐腐蚀要求的板材,且要求不影响超声波的效果;(2)按照尺寸要求制作清洗槽;(3)将清洗槽在清洗机上安装到位,调试清洗超声波强度,达到使用标准;(4)加入氢氟酸溶剂,确认耐腐蚀效果。
公开号  105280517A
公开日  2016-01-27
专利代理机构  南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204
代理人  成立珍
颁证日  
优先权  
国际申请  
国际公布  
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