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一种压电复合材料金属电极的化学沉积制备方法
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申请号:201410142316.4 申请日:2014-04-10
摘要:本发明涉及一种压电复合材料金属电极化学沉积制备方法。所述的化学沉积制备方法特别针对PZT陶瓷和聚合物共存的复合材料,按如下制备顺序进行:压电复合材料→清洗→除油→亲水→一步粗化→还原→二步粗化→胶体钯活化→解胶→化学镀→钝化。本发明在压电复合材料表面化学沉积的金属镀层,表面光亮且结晶细致、能均匀地覆盖于陶瓷和聚合物表面、与陶瓷和聚合物均具有良好的结合力。所用中低温工艺,可保证压电复合材料金属电极无变形、无材料脱离。本发明无需昂贵设备,成本低廉,适用于大规模生产。
申请人: 厦门大学
地址: 361000 福建省厦门市思明南路422号
发明(设计)人: 杨防祖 蒋义锋 史纪鹏 吴德印 田中群
主分类号: C23C18/34(2006.01)I
分类号: C23C18/34(2006.01)I C23C18/20(2006.01)I C23C22/40(2006.01)I
  • 法律状态
2016-06-08  授权
2014-08-20  实质审查的生效IPC(主分类):C23C 18/34申请日:20140410
2014-07-23  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  一种压电复合材料金属电极的化学沉积制备方法,包括如下步骤:压电复合材料→清洗→除油→亲水→一步粗化→还原→二步粗化→胶体钯活化→解胶→化学镀→钝化,其中:(1)除油液组成与条件:无水碳酸钠(Na2CO3)40?60g/L,磷酸钠(Na3PO4·12H2O)40?60g/L,氢氧化钠(NaOH)10~50g/L,硅酸钠(Na2SiO3·9H2O)5~20g/L,OP?10乳化剂1~3ml/L,30~40℃,5~10分钟;(2)亲水液组成与条件:乙腈(C2H3N)10~20%,二氯甲烷(CH2Cl2)5~10%,N,N?二甲基甲酰胺(C3H7NO)70~85%,30~40℃,3~5分钟;(3)一步粗化液组成与条件:铬酐(CrO3)350~400g/L,硫酸(H2SO4)250~300ml/L,氢氟酸(HF40%)4~10ml/L,40~50℃,2~3分钟;(4)还原液组成与条件:焦亚硫酸钠(Na2S2O6)5~20g/L,室温,0.5?1.5分钟;(5)二步粗化液组成与条件:氢氟酸(HF40%)100~250ml/L,氟化氢铵(NH4·HF2)10~20g/L,室温,3~5分钟;(6)胶体钯溶液组成与条件:二氯二氨钯(Pd(NH3)2Cl2)0.05~1.0g/L,氯化亚锡(SnCl2·2H2O)8~16g/L,盐酸10~60ml/L,锡酸钠(Na2SnO3·3H2O)0.4?0.8g/L,氯化钠(NaCl)100~150g/L,30~35℃,3~5分钟;(7)解胶液组成与条件:硫酸(H2SO4)150~250ml/L,45?55℃,2~3分钟;(8)化学沉积铜溶液组成与条件:硫酸铜(CuSO4·5H2O)10~15g/L,乙二胺四乙酸二钠(EDTA·2Na)29~44g/L,乙醛酸(C2H2O3)7~12g/L,亚铁氰化钾10~20mg/L,a,a’?联吡啶10~30mg/L,pH13?14,30~40℃,10~60分钟;(9)钝化液组成与条件:钼酸钠(Na2MoO4·2H2O)1~5g/L,硝酸铈(Ce(NO3)3·6H2O)0.5~2g/L,苯并三氮唑(BTA)0.2~3g/L,室温,1~5分钟。
公开号  103938192A
公开日  2014-07-23
专利代理机构  厦门市首创君合专利事务所有限公司 35204
代理人  张松亭
颁证日  
优先权  
国际申请  
国际公布  
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