搜索 分析 新世界 论坛 法规 交易 图书 网址导航 更多
登陆 | |

一种表面缺陷检测系统及方法
无权-驳回
著录变更

Surface defect detection system and surface defect detection method

申请号:201410137051.9 申请日:2014-04-08
摘要:一种表面缺陷检测系统及方法,该检测系统包括检测对象、承放所述检测对象的支持台、检测装置,所述检测装置包括:照明系统、物镜、图形探测器和主控计算机;其特征在于,所述支持台为旋转支持台;所述物镜在直线运动导轨上,所述直线运动导轨位于所述旋转支持台的上方。该装置降低了运动台的复杂度,减小了设备体积,同时降低了成本,提高了产率。
Abstract: The invention discloses a surface defect detection system and a surface defect detection method. The detection system comprises a detection object, a support platform for bearing the detection object, and a detection device, wherein the detection device comprises an illuminating system, an objective lens, an image detector and a main control computer. The surface defect detection system is characterized in that the support platform is rotary; the objective lens is on a linear movement guide rail which is positioned on the rotary support platform. According to the device, the complexity of a motion platform is lowered, the equipment volume is reduced, meanwhile, the cost is lowered and the yield is increased.
申请人: 上海微电子装备有限公司
Applicant: SHANGHAI MICROELECTRONICS EQUI
地址: 201203 上海市浦东新区张江高科技园区张东路1525号
发明(设计)人: 李学来 张俊 李志丹
Inventor: LI XUELAI; ZHANG JUN; LI ZHIDAN
主分类号: G01N21/89(2006.01)I
分类号: G01N21/89(2006.01)I
  • 法律状态
2019-09-20  发明专利申请公布后的驳回IPC(主分类):G01N 21/89申请公布日:20151014
2017-09-26  著录事项变更 IPC(主分类):G01N 21/89变更事项:申请人变更前:上海微电子装备有限公司变更后:上海微电子装备(集团)股份有限公司变更事项:地址变更前:201203 上海市浦东新区张江高科技园区张东路1525号变更后:201203 上海市浦东新区张江高科技园区张东路1525号
2015-11-18  实质审查的生效IPC(主分类):G01N 21/89申请日:20140408
2015-10-14  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  一种表面缺陷检测系统,包括检测对象、承放所述检测对象的支持台、检测装置,?所述检测装置包括:照明系统、物镜、图形探测器和主控计算机;?其特征在于,所述支持台为旋转支持台;所述物镜在直线运动导轨上,所述直线运动导轨位于所述旋转支持台的上方。?
公开号  104977306A
公开日  2015-10-14
专利代理机构  北京连和连知识产权代理有限公司 11278
代理人  王光辉
颁证日  
优先权  
 
国别 优先权号 优先权日 类型
CN  201410137051  20140408 
国际申请  
国际公布  
进入国家日期  
  • 专利对比文献
类型 阶段 文献号 公开日期 涉及权利要求项 相关页数
SEA  CN1293365A  20010502  1-11  说明书第2页倒数第1段 
SEA  CN2470821Y  20020109  1-11  全文 
SEA  CN201298024Y  20090826  1-11  全文 
SEA  KR100989561B1  20101025  1-11  全文 
SEA  EP2387794A2  20111123  1-11  全文 
SEA  CN203203942U  20130918  1-11  说明书第[0021]-[0024]段 
注:不保证该信息的有效性、完整性、准确性,以上信息也不具有任何效力,仅供参考。使用前请另行委托专业机构进一步查核,使用该信息的一切后果由用户自行负责。
X:单独影响权利要求的新颖性或创造性的文件;
Y:与检索报告中其他 Y类文件组合后影响权利要求的创造性的文件;
A:背景技术文件,即反映权利要求的部分技术特征或者有关的现有技术的文件;
R:任何单位或个人在申请日向专利局提交的、属于同样的发明创造的专利或专利申请文件;
P:中间文件,其公开日在申请的申请日与所要求的优先权日之间的文件,或会导致需核实该申请优先权的文件;
E:单独影响权利要求新颖性的抵触申请文件。
  • 期刊对比文献
类型 阶段 期刊文摘名称 作者 标题 涉及权利要求项 相关页数
  • 书籍对比文献
类型 阶段 书名 作者 标题 涉及权利要求项 相关页数
  • 附加信息
同族专利
 
引用文献
EP2387794A2KR100989561B1CN1293365A
CN201298024YCN203203942UCN2470821Y
 
被引用文献