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一种反应腔室及等离子体加工设备
审中-实审
著录变更

申请号:201410063219.6 申请日:2014-02-24
摘要:本发明涉及一种反应腔室及等离子体加工设备,反应腔室包括环形介质窗和功率供给单元,环形介质窗的外侧环绕有沿竖直方向间隔设置的多组线圈,且多组线圈并联连接;功率供给单元向多组线圈加载功率。上述反应腔室可以使等离子体在反应腔室内均匀分布,并使反应腔室内等离子体的密度提高,从而提高工艺的均匀性和离化效率;同时,还可以提高用于激发等离子体的有效功率,以及降低环形介质窗在工艺过程中的升温幅度和温度梯度,防止其破裂,延长环形介质窗的使用寿命。
申请人: 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
地址: 100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号
发明(设计)人: 李兴存 韦刚 李东三 管长乐 邱明达 赵隆超 宋铭明
主分类号: C23C16/452(2006.01)I
分类号: C23C16/452(2006.01)I H05H1/46(2006.01)I
  • 法律状态
2017-10-17  著录事项变更 IPC(主分类):C23C 16/452变更事项:申请人变更前:北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司变更后:北京北方华创微电子装备有限公司变更事项:地址变更前:100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号变更后:100176 北京经济技术开发区文昌大道8号
2015-09-23  实质审查的生效IPC(主分类):C23C 16/452申请日:20140224
2015-08-26  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  一种反应腔室,包括环形介质窗和功率供给单元,其特征在于,所述环形介质窗的外侧环绕有沿竖直方向间隔设置的多组线圈,所述多组线圈并联连接;所述功率供给单元向所述多组线圈加载功率。
公开号  104862671A
公开日  2015-08-26
专利代理机构  北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112
代理人  彭瑞欣 张天舒
颁证日  
优先权  
国际申请  
国际公布  
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