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承载装置及等离子体加工设备
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申请号:201410061908.3 申请日:2014-02-24
摘要:本发明提供的承载装置及等离子体加工设备,其包括基座、基座驱动机构、压环和挡环,基座用于承载被加工工件;基座驱动机构用于驱动基座上升至工艺位置或下降至卸载位置;压环用于在基座位于工艺位置时压紧置于基座上的被加工工件的边缘区域;挡环环绕在基座的外周壁上,且位于压环的下方;压环与挡环彼此相对的表面包括一对导向环面,其相对于基座竖直方向上的中心线向外倾斜相同角度;并且,在基座驱动机构驱动基座上升的过程中,该对导向环面彼此接触且交错移动,以实现压环与基座的定位。本发明提供的承载装置,其可以直接实现压环与基座的定位,从而不仅可以提高定位的准确度、简化工作流程,而且还可以简化设备结构、降低制造成本。
申请人: 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
地址: 100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号
发明(设计)人: 郭浩 陈鹏 侯珏
主分类号: C23C14/50(2006.01)I
分类号: C23C14/50(2006.01)I
  • 法律状态
2017-10-13  授权
2017-10-10  著录事项变更 IPC(主分类):C23C 14/50变更事项:申请人变更前:北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司变更后:北京北方华创微电子装备有限公司变更事项:地址变更前:100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号变更后:100176 北京经济技术开发区文昌大道8号
2015-09-23  实质审查的生效IPC(主分类):C23C 14/50申请日:20140224
2015-08-26  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  一种承载装置,其包括基座、基座驱动机构、压环和挡环,所述基座用于承载被加工工件;所述基座驱动机构用于驱动所述基座上升至工艺位置或下降至卸载位置;所述压环用于在所述基座位于所述工艺位置时压紧置于基座上的被加工工件的边缘区域;所述挡环环绕在所述基座的外周壁上,且位于所述压环的下方,其特征在于,所述压环与挡环彼此相对的表面包括一对导向环面,该对导向环面相对于所述基座竖直方向上的中心线向外倾斜相同角度;并且,在所述基座驱动机构驱动所述基座上升的过程中,该对导向环面彼此接触且交错移动,以实现所述压环与基座的定位。
公开号  104862660A
公开日  2015-08-26
专利代理机构  北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112
代理人  彭瑞欣 张天舒
颁证日  
优先权  
国际申请  
国际公布  
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