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具有同步数据采集机制的光学测量系统
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申请号:201410060689.7 申请日:2014-02-21
摘要:本发明提供了一种光学测量系统,包括:探测单元,用于采集反射自样品表面的光谱数据;运动单元,用于调整入射至探测单元的光谱数据,并记录与光谱数据相对应的第一位置信息;以及工控单元,用于接收来自探测单元光谱数据以及来自运动单元记录的第一位置信息,并用于控制运动单元对入射至探测单元的光谱数据进行调整;其中,探测单元通过硬件触发方式以触发运动单元记录第一位置信息,运动单元通过硬件触发方式以触发探测单元开始或停止采集光谱数据。本发明通过硬件触发的探测器、运动控制卡之间的相互作用,实现了光谱数据与光轴位置同步采集,而不受验偏电机的不稳定转速的影响。
申请人: 睿励科学仪器(上海)有限公司
地址: 201203 上海市浦东新区华佗路68号张江创业园6幢
发明(设计)人: 邱青菊 高海军 党江涛 王勇 郭一鸣
主分类号: G01J3/28(2006.01)I
分类号: G01J3/28(2006.01)I
  • 法律状态
2017-12-08  授权
2015-09-23  实质审查的生效IPC(主分类):G01J 3/28申请日:20140221
2015-08-26  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  一种光学测量系统,包括:探测单元,用于采集反射自样品表面的光谱数据;运动单元,用于调整入射至所述探测单元的所述光谱数据,并记录与所述光谱数据相对应的第一位置信息;以及工控单元,用于接收所述光谱数据和所述第一位置信息,并用于控制所述运动单元对入射至所述探测单元的所述光谱数据进行调整;其中,所述探测单元通过硬件触发方式以触发所述运动单元记录所述第一位置信息,所述运动单元通过硬件触发方式以触发所述探测单元开始或停止采集所述光谱数据。
公开号  104864958A
公开日  2015-08-26
专利代理机构  北京市金杜律师事务所 11256
代理人  郑立柱
颁证日  
优先权  
国际申请  
国际公布  
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