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一种AFM硅针尖脉冲电镀纳米厚度致密金薄膜方法
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申请号:201410025554.7 申请日:2014-01-20
摘要:本发明公开了一种AFM硅针尖脉冲电镀纳米厚度致密金薄膜方法。该方法是以进行表面洁净处理并除去表面SiO2氧化层的商品AFM硅针尖作为电镀基底,在合适的电镀金溶液中,采用脉冲电镀方法,沉积出一层纳米厚度且致密的金薄膜。本发明采用的商品AFM硅针尖脉冲电镀纳米厚度致密金薄膜方法,方法和设备简单;成本低廉;制备的金膜特征重现性好;所得金膜与基底结合力良好、金颗粒细小、致密并分布均匀;金膜厚度5~75nm;针尖表面金膜曲率半径可小于25nm;制备的原子力显微镜针尖具有针尖增强拉曼光谱(TERS)活性。
申请人: 厦门大学
地址: 361000 福建省厦门市思明南路422号
发明(设计)人: 杨防祖 杨丽坤 吴德印 任斌 田中群
主分类号: C25D5/18(2006.01)I
分类号: C25D5/18(2006.01)I G01Q60/38(2010.01)I B82Y40/00(2011.01)I
  • 法律状态
2016-05-11  授权
2014-06-04  实质审查的生效IPC(主分类):C25D 5/18申请日:20140120
2014-04-30  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  一种原子力显微镜硅针尖脉冲电镀纳米厚度致密金薄膜方法,其特征是:直接以进行表面洁净处理并除去表面SiO2氧化层的AFM硅针尖作为电镀基底,在合适的电镀金溶液中,采用方波脉冲电镀方法,沉积出一层纳米厚度的致密金薄膜。?
公开号  103757675A
公开日  2014-04-30
专利代理机构  厦门市首创君合专利事务所有限公司 35204
代理人  张松亭
颁证日  
优先权  
国际申请  
国际公布  
进入国家日期