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用于压印光刻的压印物料
审中-实审

申请号:201380077583.1 申请日:2013-06-19
摘要:本发明涉及能够用于压印光刻的可固化压印物料,其由以下的混合物组成:至少一种可聚合主要组分和至少一种次要组分。此外,本发明涉及前述权利要求任一项的压印物料用于初步形成压印形式(4、4'、4''、4'''、4IV)的用途。
申请人: EV 集团 E·索尔纳有限责任公司
地址: 奥地利圣弗洛里安
发明(设计)人: M.舒伊基
主分类号: G03F7/00(2006.01)I
分类号: G03F7/00(2006.01)I
  • 法律状态
2016-07-13  实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/00申请日:20130619
2016-01-27  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  能够用于压印光刻的可固化压印物料,其由以下的混合物组成:至少一种可聚合主要组分,及至少一种次要组分。
公开号  105283805A
公开日  2016-01-27
专利代理机构  中国专利代理(香港)有限公司 72001
代理人  邵长准 石克虎
颁证日  
优先权  
国际申请  2013-06-19 PCT/EP2013/062711
国际公布  2014-12-24 WO2014/202127 DE
进入国家日期  2015.12.18