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用于衬底对准的装置及方法
审中-实审

申请号:201380077539.0 申请日:2013-06-17
摘要:本发明涉及一种用于通过使用多个检测单元使第一衬底(15)与第二衬底(15')对准及接触的方法以及一种对应装置。
申请人: EV 集团 E·索尔纳有限责任公司
地址: 奥地利圣弗洛里安
发明(设计)人: E.索尔纳
主分类号: H01L21/67(2006.01)I
分类号: H01L21/67(2006.01)I H01L21/68(2006.01)I
  • 法律状态
2016-03-02  实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/67申请日:20130617
2016-01-27  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  ?一种用于使第一衬底(15)与第二衬底(15')对准及接触的方法,该方法具有以下步骤,尤其是以下顺序:?将该第一衬底(15)固定于第一座架(9)上且将该第二衬底(15')固定于与该第一座架(9)相对地布置的第二座架(9')上,其中该第一衬底(15)与该第二衬底(15')布置在该第一座架(9)与该第二座架(9')之间,其中在Z方向上在该第一衬底(15)的第一接触表面与该第二衬底(15)的第二接触表面之间具有距离A,?检测已在X和/或Y方向上沿着第一接触表面(15o)移动的第一检测位置中的布置在该第一衬底(15)的周边区域中的第一对准标记(20')的第一X?Y位置,?检测已在X和/或Y方向上沿着第二接触表面(15k')移动的第二检测位置中的布置在该第二衬底(15')的周边区域中的第二对准标记(20")的第二X?Y位置,?检测该第二检测位置中的布置在该第一衬底(15)的周边区域中的第三对准标记(20"')的第三X?Y位置,?检测该第一检测位置中的布置在该第二衬底(15')的周边区域中的第四对准标记(20)的第四X?Y位置,?经由调整单元(4、4')基于已经由该检测检测到的该第一X?Y位置、该第二X?Y位置、该第三X?Y位置及该第四X?Y位置而相对于该第二衬底(15')对准该第一衬底(15),以及?使已相对于该第二衬底(15')对准的第一衬底(15)与该第二衬底(15')接触。
公开号  105283950A
公开日  2016-01-27
专利代理机构  中国专利代理(香港)有限公司 72001
代理人  吴晟 刘春元
颁证日  
优先权  
国际申请  2013-06-17 PCT/EP2013/062473
国际公布  2014-12-24 WO2014/202106 DE
进入国家日期  2015.12.17