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一种三自由度外差光栅干涉仪位移测量系统
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申请号:201310243132.2 申请日:2013-06-19
摘要:一种三自由度外差光栅干涉仪位移测量系统,包括双频激光器、光栅干涉仪、测量光栅、接收器、电子信号处理部件;光栅干涉仪包括偏振分光镜、参考光栅、折光元件;该测量系统基于光栅衍射、光学多普勒效应和光学拍频原理实现位移测量。双频激光器出射的双频激光入射至光栅干涉仪、测量光栅后输出四路光信号至接收器,后至电子信号处理部件。当光栅干涉仪与测量光栅做三自由度线性相对运动时,系统可输出三个线性位移。该测量系统能够实现亚纳米甚至更高分辨率及精度,且能够同时测量三个线性位移。该测量系统具有对环境不敏感、测量精度高、体积小、质量轻等优点,作为光刻机超精密工件台位置测量系统可提升工件台综合性能。
申请人: 清华大学
地址: 100084 北京市海淀区北京市100084信箱82分箱清华大学专利办公室
发明(设计)人: 朱煜 王磊杰 张鸣 刘召 成荣 杨开明 徐登峰 叶伟楠 张利 赵彦坡 秦慧超 田丽 张金 尹文生 穆海华 胡金春
主分类号: G01B11/02(2006.01)I
分类号: G01B11/02(2006.01)I
  • 法律状态
2016-04-20  授权
2015-12-02  专利申请权的转移IPC(主分类):G01B 11/02登记生效日:20151112变更事项:申请人变更前权利人:清华大学变更后权利人:清华大学变更事项:地址变更前权利人:100084 北京市海淀区北京市100084信箱82分箱清华大学专利办公室变更后权利人:100084 北京市海淀区北京市100084信箱82分箱清华大学专利办公室变更事项:申请人变更后权利人:北京华卓精科科技股份有限公司
2013-10-30  实质审查的生效IPC(主分类):G01B 11/02申请日:20130619
2013-09-25  公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
  • 其他信息
主权项  一种三自由度外差光栅干涉仪位移测量系统,其特征在于:包括双频激光器(1)、光栅干涉仪(2)、测量光栅(3)、四个接收器(4)和电子信号处理部件(5);光栅干涉仪(2)包括偏振分光镜(21)、参考光栅(22)、第一折光元件和第二折光元件;所述的参考光栅(22)、测量光栅(3)均采用二维反射型光栅; 双频激光器(1)出射双频正交偏振激光经光纤耦合入射至偏振分光镜(21)后分光,透射光为参考光,反射光为测量光; 所述参考光入射至参考光栅(22)后产生四束衍射反射参考光,四束参考光经第一折光元件后偏转形成四束平行参考光,四束平行参考光回射至偏振分光镜(21)后透射; 所述测量光入射至测量光栅(3)后产生四束衍射反射测量光,四束测量光经第二折光元件后偏转形成四束平行测量光,四束平行测量光回射至偏振分光镜(21)后反射; 四束透射参考光和四束反射测量光分别两两重合形成四路测量光信号,四路测量光信号分别经光纤传输至四个接收器(4)进行处理分别形成四路测量电信号,四路测量电信号输入至电子信号处理部件(5)进行处理; 双频激光器(1)同时也输出一束参考电信号至电子信号处理部件(5);当测量光栅(3)相对于光栅干涉仪(2)做xy向和z向三个自由度的线性运动时,电子信号处理部件(5)将输出三自由度线性位移。
公开号  103322927A
公开日  2013-09-25
专利代理机构  北京鸿元知识产权代理有限公司 11327
代理人  邸更岩
颁证日  
优先权  
国际申请  
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